射频溅射法制备氟碳高分子膜的表征.pdfVIP

7一f7，f2 维普资讯 第 16卷第 6期 高分子材料科学与工程 Vo1．16．No．6 2D00年 11．目 POIYMER M ATER1AISSCIEN(’F AND ENGINEERING No、．200tI 射频溅射法制备氟碳高分子膜的表征 、 ／ t青岛^学纺志织服装学院化LE系Il尔【肯岛H60宏71J 钟’’ {j 、 ≥ 摘要：为研制高性能防水连湿织物 ．在涤纶薄膜基底上沉积 了氟麒高分子腹 利用光电子能谱 (XPS)．表面曩战仝 反射缸外光谱 (ATR—FT—IR)．掠角缸外光谱 G【AIR)对腰进行 了表征 构成该膜的戈分子由 c ． CF ．CF： 和CF一 4十组分组成．随着施加 能量 的增加．敝氟基 团一c 和 富氟基 团CF： 同时增加 ．这可 由分子 内分 支、交 联和双键增加及 由它们构成的网状姑构增强来解释 关键词 ：氟碳高分于膜 ；光电于能谱 ；红外光谱 ；表征 疑域：新 中国分类号：TQ324．8 文献标识码 ：A 文章编号 ：1o0)·一7j (2(},10)06-015703 射频溅射法已广泛应用于金属、半导体及陶瓷 Xray光 ．工作 电压 250V．压力 l0 Pa．利 用 膜的制备。自20世纪70年代末 ，这种方法也用于生 SPXPEAK软件分峰，解析各羰氟基团及其含量 。 成氟碳高分子膜 ～-，但大都是通过聚四氟乙烯 的 1．3 IR 分析 溅射在金属、玻璃等基底上生成氟碳高分子膜 ．用于 使用 NicoletMagna—IR 750 Ⅱ，GlancingAn— {5j备固体润滑剂及 电子器件 ，而在高分子上沉积氟 gle附件 ；tRBioRadFTS65A IR和 ATR 附件 。 碳高分子膜并形成复合膜还未见报道 。笔者已利用 各种溅射法在聚酯纤维基底上制备 了氟羰高分子 2 结果与讨论 膜．作为一种干法涂层用于研制防水透湿织物。一。 。 2．1 光电子能谱分析 为进一步 了解膜的组成结构，本文在涤纶 (PET)薄 分峰后的XPS图(C．谱)示于 Fig．1。氟碳高分 膜基底上用聚四氟乙烯 (PTFE)为靶 材，通过射频 子膜 …般在 XPS图中分为 个峰，根据其能量从低 溅射 {5j备了上述防水透湿织物的模拟物。通过光电 到高排列 ．分别代表一C一．一CF一．CF!一和CF一 子 能谱 (XPS)、掠 角红 外光 谱 (GIANCING AN 组分 {本 文 分别 用 P。．P ，P!和 P 表 示 )的 吸 收 GIEIR)、表面衰减全反射红外光谱 (ATR)等方法 峰 ～…，R．Dagostino等 人_l。。在 计算碳氟聚合物 的 对制备的氟碳高分子膜进行表征，对膜组成及其对 氟碳比时，提出 了用含氟峰面积之和比C 峰面积的 施加能量的依赖性进行了讨论 。 算法： 1 实验部分 1．1 氟碳高分子膜的翩备 利用文献 6]所述装置和方法 ，放 电条件列于 Tab．1。 Tab 1 Discharge “mdltl0n Bindingener~,(aV I．2 XPS分析 使用 VG ESCA I．AB5光电子能谱仪 ，AIKa， 收稿 日期：2000 03 2l 作者简彳卜：杨 向辫 (1942 ，．女、副教授