基于MEMS的姿态测量系统.pdf

· · 《测控技术》 年第 卷第 期 6 2002 21 10 !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 文章编号： （ ） 1000 - 8829 2002 10 - 0006 - 03 基于MEMS 的姿态测量系统 A MEMS-based Attitude Reference System （清华大学 精密仪器系MEMS 实验室，北京 100084） 朱 荣，周兆英 摘要：载体的姿态测量是载体进行预计轨迹运动的基 Key words :attitude detection;micro eiectro-mechanicai sys- 础。姿态测量有多种方式，其中采用磁场传感器测量 tem ( MEMS ) ; MEMS-based acceierometer; 大地磁场确定航向的方法由于结构简单、体积小、重量 MEMS-based magnetometer 轻、启动迅速、成本低等特点，自古至今一直得到应用。 本课题在此基础上，利用微机电系统（ ）技术，设 载体的姿态测量有多种方法，根据对象以及执行 MEMS 计了由微机电传感器组合而成的微型方位水平仪，该 任务要求的不同，姿态传感器可选用惯性式、磁感应式 系统由三轴微加速度计和三轴微磁强计组成。利用大 等。磁感应传感器由于利用了地球的磁场，结构中没 地磁场和重力场在地理坐标系和载体坐标系之间的方 有可动部件因而具有良好的抗冲击和抗干扰性，其结 向余弦转换进行绝对角度解算得到姿态角。该微型姿 构简单、体积小、重量轻、启动迅速、成本低，成为许多 ［］ 1 态测量系统体积小、重量轻、功耗低、启动快、无长期漂 载体姿态测量的首选器件 。 移，可进行全姿态动态连续测量，测角精度为1 0 . 5 利用磁感应进行姿态测量实际上是寻找磁北，这 （俯仰和滚转）、 （航向）。 就是磁罗盘。世界上有许多磁罗盘生产厂商，如美国 1 0 .7 关键词：姿态测量；微机电系统（ ）；微加速度计； Gibbs Associates 公司设计了多种电子数字罗盘用于 MEMS 微磁强计 提供载体的航向，其产品已经应用于 、 和 GM FORD 中图分类号： CHRYSLER 公司的汽车导航。相比较于传统的液泡、 V447 文献标识码： 机械罗盘，其产品不需要稳定过程，因而响应迅速且不 A