光致弯曲材料微泵泵膜形变仿真计算.pdfVIP

· 48 · 材 料 开 发 与 应 用 2009年4月 文章编号：1003—1545(2009)02-0048-04 光致弯曲材料微泵泵膜形变仿真计算 刘 钊 ，吴眷军，朱玉田，陈茂林 (同济大学机械工程学院，上海 200092) 摘 要：本文采用薄板小变形理论分析计算由一种受光照后产生弯曲变形的新型聚合物制造的微泵泵膜的形 变 ，在理论推导出加入光致弯曲后的薄板弯曲问题的基本方程后，对其进行四边简支条件下变形计算，最后进 一 步采用 MATLAB仿真其变形。 关键词：MEMS；光致弯曲；MATLAB仿真 中图分类号 ：TP211．31 文献标识码 ：A 随着MEMS器件的发展，很多新材料被用来 制造MEMS器件。非机械式微泵是 目前的一个 研究热点，它利用热、化学、声、光、磁或电动力来 ■ 圈 一 实现对液体的驱动，而同其他驱动方式相比，光 驱动具有结构简单、体积小、质量轻、耗能低、无 图1 在紫外线下与光的极化方向(箭头所示)一致 的弯曲 噪声及无电磁干扰等优点，且可通过施加不同光 光驱动微泵的设计关键在于光照条件下泵 照强度或频率来控制输出流量，因此，光致变形 膜的形变计算分析，由于是小变形 ，所以对泵膜 记忆聚合物被认为是最有潜力的微机械系统的 建立薄板模型，如图2所示。 执动材料。2001年，德国弗赖堡大学大分子化学 研究所 Finkelmarm等人利用含偶氮苯的高分子 液晶弹性体开发出新型光致伸缩材料。2002年 和2003年，英国剑桥大学卡文迪许实验室 的 Terentjev等人和法国居里科学研究院居里物理 一 化学实验室的Keller等人也相继发表 了有关 图2 薄板模型 的研究论文 ¨ 。 下面所做分析都是建立在薄板小变形理论 2003年，余燕蕾成功研制出方向可控的光致 基础上的 。 形变液晶材料。材料膜试件在紫外线照射下发 生与光的极化方向一致的弯曲；在可见光照射下 1 光致弯曲后的薄板弯曲问题的基 又回复原状，具有三维光致形变能力的双 向形状 本方程 记忆功能 ，如图1所示 。 1．1 薄板弹性应变分量 ■ ■ 由材料力学可知，薄板总应变分量为： 收稿 日期：2008—12—04 作者简介：刘钊，1974年生，男，汉族，江苏元锡市人，工学博士，教授，主要研究方向为机械控制与信息处理技术、工程 机械及其关键技术、智能机械与机器人等。吴春军，1982年生，男，汉族，上海金 山人，硕士研究生，研究方向为智能机 械与机器人。 第24卷第2期 刘 钊等：光致弯曲材料微泵泵膜形变仿真计算 ‘49 · a 一 = 一 _z (1- )D Ox a c￡，