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· 94 · 材 料 开 发 与 应 用 2009年4月 文章编号：1003-1545(2009)02-0094-08 涂层硬质合金的最新研究进展 赵玉玲。，丰 平 ，张晓明 ，熊惟皓 (1．三峡大学机械与材料学院，湖北 宜昌 443oo2； 2．华中科技大学材料成形与模具技术国家重点实验室，湖北 武汉 430074) 摘 要：近年来，涂层硬质合金在涂层材料、物理结构、涂层技术、晶粒尺度、基体等诸多方面取得了长足进步。 本文从材料学角度 ，综述了涂层硬质合金在涂层方法、涂层结构类型、涂层材料及结构、涂层基体等方面的国 内外研究进展 ，结合具体涂镀技术和工艺，对比和讨论了不同类型涂层的物理性能、力学性能、切削性能和适 用范围，并对涂层硬质合金行业的发展进行了展望。 关键词：硬质合金；涂层；涂层基体；涂层技术 中图分类号：TQ135 ．5 文献标识码：A 涂层硬质合金刀片在切削刀具中所 占的比 CVD方法在 1200℃对 WC一6％Co硬质合金刀 例 日益增加，具有一定韧性的硬质合金基体与硬 片进行沉积，获得 3～4m的TiC涂层。分析发 度高、耐磨性好、摩擦系数低、化学稳定的涂层结 现，在涂层与WC—Co界面周围形成了CoW6C， 合，赋予机械加工一系列裨益。涂层硬质合金 自 其上面是50—100nm的TiC薄膜。但Bartsch3【 问世以来，在涂镀层技术、涂层结构类型、涂层材 认为，传统的CVD工艺由于高温沉积导致脆的 料、涂层基体等方面都得到了长足的发展。本文 金属中间相形成，使制品的性能变差，这是其主 从材料学角度，综述了涂层方法、涂层结构类型、 要不足。 涂层材料及结构、涂层基体等方面的国内外涂层 1．2 PVD法 硬质合金的研究进展，结合具体的涂镀技术和工 PVD法沉积温度较低 ，一般在500cI=以下，而 艺，对 比和讨论了不同类型涂层的物理性能、力 且不需要后续热处理。PVD工艺在600~C以下时 学性能、切削性能及应用，并对涂层硬质合金的 对刀具材料的抗弯强度无影响；薄膜 内部应力状 发展进行了展望。 态为压应力，更适用于硬质合金精密复杂刀具的 涂层。但 PVD法工艺要求比较高，涂层循环周 1 涂层方法 期长且均匀性不如CVD法。 1．3 中温化学气相沉积(MTCVD) 硬质合金涂层技术仍 以化学气相沉积 MTCVD技术的出现使 CVD技术发生了革 (CVD)和物理气相沉积(PVD)为主导。近年来， 命性变革。MTCVD技术是以含 C—N原子团的 研究人员在改进现有CVD和PVD工艺的同时， 有机化合物如三甲基氨、甲基亚胺等为主要反应 利用物理原理，发展了一些新的涂层技术。 原料气体，与TiCI、N、H：等气体在700—90o℃ 1．1 CVD法 温度下，产生分解、化合反应，生成Ti(C，N)等涂 CVD法出现在20世纪70年代，这种工艺是 层。这种 Ti(c，N)涂层方法有效地控制了脆性 在高温 (800～1200~C)真空炉中通过真空镀膜 11相的生成，提高了涂层的耐磨性、抗热震性及 或电弧蒸镀将涂层材料沉积在刀具基体表面，沉 韧性，但其涂层内部为拉应力状态，容易导致微 积 151zm厚的涂层约需4h…。Suzuki等 采用 裂纹的产生。 收稿