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电子显微镜的现状与展望_姚骏恩
17( 6) ÷767776 1998 767
姚骏恩
( 中国科学院北京科学仪器研制中心, 中国科学院北京电子显微镜实验室, 北京 100080)
本文扼要介绍了电子显微镜的 状与展望。透射电子显微镜方面主要有: 高分辨电子显微学
及原子像的观察, 像差校正电子显微镜, 原子尺度电子全息学, 表面的高分辨电子显微正面成像, 超高
压电子显微镜, 中等电压电镜, 120kV, 100kV 分析电镜, 场发射枪扫描透射电镜及能量选择电镜等,
透射电镜将又 一次面临新的重大突破; 扫描电子显微镜方面主要有:分析扫描电镜和X 射线能谱仪、
X 射线波谱仪和电子探针仪、场发射枪扫描电镜和低压扫描电镜、超大试样室扫描电镜、环境扫描电
镜、扫描电声显微镜、测长/ 缺陷检测扫描电镜、晶体学取向成像扫描电子显微术和计算机控制扫描电
镜等。扫描电镜的分辨本领可望达到0. 2—0. 3nm 并观察到原子像。
透射电子显微镜 扫描电子显微镜 仪器制造与发展
TN 16 O766. 1 Q336
( , EM)
[ 1]
( E. R ska)
[ 2]
1986
, , , ,
, , X , ,
, (
, T EM) ( , SEM) (
, ST EM) , , :
( 1MV) ( 200500kV) ( 1kV ) ;
, ; , ,
CD-; , X
( , EPMA)
, , , , ,
,
[ 3]
, ( ) , ,
,
[ 1]
1
123mm ,
0. 1nm , 170
: 199846,:
768 17( 6) ÷767776 1998
( HREM)
, ,
A. Kl g
, 1982,
[ 4]
HREM / ,
( ) ,
( ) , ( ) ,
, ,
[ 5]
, BT CA ( Z= 92) ( Z= 90) ,
( Scherzer )
, , 200kV
JEM -2010F ( 0. 194nm) 0. 2nm
[ 6]
, 0. 1nm
2.
,
, 1936Scherzer ,
, 40,
0. 5nm50, 1990
Rose CM200ST
200kV ,
24cm, 0. 24nm 0. 14nm[ 7]
0. 05mm( 50Lm) GaAs110
, 0. 14nm[ 8]
3
Gabor 1948
, , ,
,
, , ,
Gabor Mollenstedt
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[ 9]
Lichte
30 / ( = 1. 2 ) 1 1 ,
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