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磁控溅射cr-c镀层耐热性能研究,磁控溅射lt;/10e0agt;lt;/thgt;lt;tdgt;lt;/tdgt;lt;thgt;lt;ahref=quot;/s?wd=磁控溅射镀膜
36 材料工程 ／2008年 11期
磁控溅射 Cr／C镀层耐热性能研究
StudyonHeat—resistanceofM agnetron
SputteredCr／CCoating
严少平 ，蒋百灵 ，苏 阳 ，白力静 ，龙艳妮
(1西安理工大学 材料科学与工程学院，西安 710048；
2安徽理工大学 理学院，安徽 淮南 232001)
YAN Shao—ping～，JIANGBai—ling ，SU Yang ，BAILi-jing ，LONG Yan—ni
(1SchoolofMaterialsScienceandEngineering．Xi’an
UniversityofTechnology，Xi’an710048，China；2Collegeof
Science，AnhuiUniversityofScienceandTechnology，Huainan232001，Anhui，China)
摘要 ：在空气炉加热环境下于不 同温度对采用磁控溅射离子镀技术制备 Cr／C镀层样 品进行加热保温处理 。研究了不
同加热温度下镀层的相结构、硬度和结合力的变化 ，考察 了Cr／C镀层 的耐热性能。结果表 明：在 600℃以下 ，Cr／C镀层
保持了高硬度和强结合力的性能，表明镀层具有 良好的耐热性能；镀层受热过程中生成了致密的铬氧化物及铬碳化合
物，起到阻碍了氧原子向内层扩散的效果，使镀层氧化失稳的温度大大提高，从而保证了良好 的耐热性能；处理温度达
800℃后 ，镀层硬度和结合力明显下降。
关键词 ：磁控溅射 ；Cr／C镀层 ；热处理 ；耐热性能
中图分类号 ：TG174．32；0484．5 文献标识码 ：A 文章编号 ：1001-4381(2008)1I-0036—05
Abstract：MagnetronsputteredCr—C coatingsweretreatedatdifferenttemperaturesintheairfurnace．
Thevariationofphasestructures。microhardnessandadhesionofcoatingsatdifferenttemperatures
wereinvestigatedinordertoevaluatethethermalstabilityofCr／C coating．Theresultsindicated
that：Cr-Ccoatingspresentedhighmicrohardness，adhesionandgoodthermalstabilitybelow 600~C．
Thedensechromium oxideandcarbideformedduringthecoatingheated，whichhinderedthediffusion
ofoxygenatomstotheinnerlayersandelevatedthedestabilizingtemperaturehighly，asaresult，a
fineheat—resistancepresented．Themicrohardnessandadhesionofcoatingsdecreasednotablyafterthe
processingtemperaturereached800℃．
Keywords：magnetronsputtering；Cr／Ccoating；heattreatment；heat—resistance
铬基镀层具有优异的外观、耐磨 、耐腐蚀、耐高温 下，沉积过程中未形成碳化物的碳单质可进一步与铬
等性能以及与基底材料 良好的结合力而被广泛用作各 元素反应 ，生成更多铬碳化合物 ，有效地提高 Cr／C镀
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