大气和低压等离子喷涂氧化铝涂层.pdfVIP

维普资讯 48 材料工程 ／2008年 5期 大气和低压等离子喷涂氧化铝涂层 AirPlasmaandLow PressurePlasmaSprayed AluminaCoatings 邓畅光，邓春明，刘 敏，朱晖朝，周克崧 (广州有色金属研究 院 材料表面所 ，广州 510651) DENG Chang—guang，DENG Chun—m ing，LIU M in，ZHU Hui—chao， ZHOU Ke—song(InstituteofM aterialSurfaceEngineeringTechnology， GuangzhouResearchInstituteofNonferrousM etals，Guangzhou510651，China) 摘要：根据大气(APS)和低压等离子喷涂 (LPPS)的特点，采用两种不同的高纯氧化铝粉末制备了高纯氧化铝涂层。分 别采用 XRD和 SEM对两种涂层 的相和结构进行 了研究，对涂层 的显微硬度和断裂韧性进行 了评价 ，并对涂层制备工艺 和性能的关系进行了分析。结果表明：低压等离子喷涂制备的高纯氧化铝涂层韧性和致密性明显优于常压喷涂氧化铝 涂层 。 关键词 ：大气等离子喷涂 (APS)；低压等离子喷涂 (LPPS)；氧化铝涂层 中图分类号 ：TB742 文献标识码 ：A 文章编号 ：1001—4381(2008)05—0048—04 Abstract：Aluminacoatingswereprepared byAirPlasmaSpray (APS)and Low PressurePlasma Spray (LPPS)processusingtwOpurealuminapowdersasfeedstockrespectively．Thephasesandmi— crostructuresforbothcoatingswerecharacterizedbyX-raydiffractionandscanningelectronmicrosco— PY，andthefracturetoughnessand microhardnessforboth coatingswasalsoinvestigated．Therela— tionship betweenpropertiesandcoatingprocesswereanalyzed．Theresultsshowed thatthefracture toughnessanddensityoftheLPPSaluminacoatingexcelledthanthatofAPSpurealuminacoating． Keywords：airplasmaspray；low pressureplasmaspray；alum inacoating 等离子喷涂是以非转移的等离子弧为热源 ，喷涂 工艺特点决定 了采用该工艺可 以获得结合强度高、致 材料以粉末的形式送入焰流中心而获得涂层的一种方 密的涂层 。近来人们提出了采用 LPPS制备高致密氧 法[1]。等离子体热源温度可高达 10000K，在材料不分 化物 陶瓷涂层 ，以适应环境恶劣条件下对高质量陶瓷 解或直接升华的前提下可以熔融任何一种材料 ，因此 涂层 的需求 J。 等离子喷涂得到最广泛的应用 。氧化物陶瓷具有熔点 氧化铝涂层在电子、半导体行业 中有着广泛的应 高的特点，采用等离子喷涂制备氧化物涂层是非常适 用 ]。如在半导体器件中作为耐 CF ，SF ，0。，C1。 合 的，目前 已经取得 了较大 的成功 ，广泛作为耐磨 、耐