导电金刚石及其应用.pdfVIP

维普资讯 第 19卷 第3期 超 硬 材 料 工 程 Vol_19 2007年 6月 SUPERHARD MATERIAL ENGINEERING Jun．2OO7 导电金刚石及其应用① 谈耀麟 (桂林矿产地质研究院，广西桂林 541004) 摘 要 ：导 电金刚石具有不 同于普通金刚石的性质。目前有两种类型的导 电金刚石 ：一是金刚石粒 ，另一是 金刚石厚膜。它们的应用包括放 电加工用的电极、导电金刚石零件、金刚石砂轮 以及精密磨削工具等。 关键词 ：导 电金刚石 ；应用 ；综述 ；电极 ；砂轮 ；精密磨削工具；EDM 中图分类号 ：TQ164 文献标识码：A 文章编号 ：1673—1433(2007)03—0032—03 Electroconductivediam ond and itsapplications TAN Yao—lin (GuilinResearchInstituteofGeologyforMineralResources，Guilin541004，China) Abstract：Electroconductivediamondpossessespropertieswhicharedifferentfrom those ofordinary one．Up tillthepresentmomentthere are two typesofelectrocouductive diamond，oneisdiamond gritand theotherisdiamondfilm．Theapplicationsofboth of them includedelectrodeinEDM ，electroconductivediamondparts，diamondgrindingwheel andmicroprecisiongrindingtoolsetc． Keywords：electroconductivediamond；electrode；grindingwheel；micro；precisiongrinding tool；EDM 1 概述 与铜的对 比如表 1所列 ¨。 表 1 导 电金刚石CVDITE—CDE与铜 的性能比较 绝大多数金刚石是极好的绝缘体 ，其 电阻率大于 Table1 Comparisonoftheperformancesof 10Q ·em，只有极少数的 Ⅱb型金刚石具有半导体 electricdiamondCVDITE—CDEandcopper 性质 ，它是一种很纯的金刚石 ，一般呈蓝颜色 ，在 自然 CVDITE--CDE 铜 界极罕见 。上世纪80年代末，人们发现，在人工合成 电阻率(n ·m) ≈ (O．4～ 1)×10