低压气相金刚石薄膜镀膜刀具膜／基附着性能压痕测试分析.pdfVIP

维普资讯 低压气相金刚石薄膜镀膜刀具膜 ／基 附着性能压痕测试分析 低压气相金刚石薄膜镀膜刀具膜 ／基附着性能 压痕测试分析 ImpressionTestStudyonAdhesionBetweenSubstrateandDiamond Film DepositedbyLow PressureVaporDeposition 龙剑平 ～，汪 灵 ：，张湘辉 ，常嗣和 (1成都理工大学 材料与化学化工学院，成都 610059； 2成都理工大学 金刚石薄膜实验室，成都 610059) LONG Jian—ping～．WANG Ling ．ZHANG Xiang—hui～。 CHANG Si—he(1CollegeofM aterialsandChemistry＆ Chemical Engineering．ChengduUniversityofTechnology，Chengdu610059，China； 2KeyIaboratoryofDiamondFilm ．ChengduUniversityofTechnology，Chengdu610059．China) 摘要 ：低压气相金刚石薄膜硬质合金刀具在直流弧光放电等离子体 CVD镀膜设备上制备。基底为 YG6(WC一6 Co． 质量分数)硬质合金刀具 。采用洛 氏(HRA)、表面洛氏(HRM)、维氏(HV)硬度试验机对所制备的金刚石薄膜刀具进 行压痕测试 ；采用扫描 电镜 (SEM)观察压痕形貌并定性评价膜 ／基附着性能。结果表 明：所制备的金刚石薄膜镀膜刀 具的优选膜 ／基 附着性能压痕测试方法是表面洛 氏压痕法 ；优选测试条件为采用 120。金刚石 圆锥压头，测试加载载荷 441N 。 关键词 ：金刚石薄膜 ；硬质合金刀具；附着性能；压痕测试 ；等离子体 CVD 中图分类号 ：TG7l1；O53 文献标识码 ：A 文章编号 ：1OO1—4381(2006)09—0057-07 Abstract：Thediamondfilm wasdepositedonWC一6 Co (massfraction)cementedcarbidebyDCarc dischargedplasmachem icalvapordeposition．Impressiontestwasconducted byRockwellhardness test，RockwellsuperficialhardnesstestandVickershardnesstest．Thescanningelectronmicroscope wasusedtOobservetheimpressionmicrostructureandqualitalitivelyevaluateadhesionbetweendia— mondfilm andsubstrate．Theresultshowsthatthepreferringhardnessimpression testisRockwell superficialhardnesstest，testparameterincludingcoppeddiamonddepressorloading441N． Keywords：diamondfilm ；cementedcarbide；adhesion；impressiontest；plasmaCVD CVD金刚石具有硬度高、耐磨损 、摩擦系数小、导 刻、设备复杂 、操作繁琐 、薄膜样品制备困难等问题 ，因 热性好 、热膨胀系数低、化学惰性等优异性能 ，是制造 而直接影响到测量结果的准确性 ，限制 了它们进一步 加工有色金属和非金属材料 刀具的理想材料 。CVD