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维普资讯 工业纯铁等离子体注入与氮化工艺及其性能研究 67 工业纯铁等离子体注入与氮化 工艺及其性能研究 M icrostructureandPropertiesofCommercialPureIronM odified byHighFrequencyandLow VoltagePlasmaImmersion andIonImplantation (HLPIII) 陈畅子 ，冷永祥 。，孙 鸿 ，朱生发 ，白 彬 ，张鹏程 ，黄 楠 。 (1西南交通大学 材料先进技术教育部 重点实验室 ，成都 610031；2表面物理与化学国家重点实验室 ， 四川 江油 621700；3西南交通大学 材料科学与工程学院，成都 610031) CHEN Chang—zi，LENG Yong—xiang ，SUN Hong ， ZHU Sheng—fa ，BAIBin ，ZHANG Peng—cheng ，HUANG Nan ·。 (1KeyLaboratoryforAdvancedTechnologiesofM aterials，M inistry ofEducation，SouthwestJiaotongUniversity，Chengdu610031，China；2StateKey LaboratoryofPhysicalChemistryofSurface，Jiangyou621700，Sichuan，China；3School ofMaterialsScienceandEngineering，SouthwestJiaotongUniversity，Chengdu610031，China) 摘要：采用低 电压高频率脉冲等离子体浸没离子注入与氮化技术在工业纯铁上进行氮离子注入及氮化强化处理，研究 了不同脉冲宽度下，工业纯铁等离子体浸没离子注入与氮化处理的结构及性能。通过 x射线衍射谱 (xRD)、x射线光 电 子能谱 (XPS)、扫描 电子显微镜(SEM)、显微硬度 、销一盘磨损实验 ，研究了工业纯铁氮离子注入及氮化后 的结构、断面组 织、表面元素含量、显微硬度、摩擦磨损性能；通过 电化学极化方法在 0．9 NaC1溶液研究了改性层的耐腐蚀性。研究结 果表明：氮等离子注入及氮化后能显著提高纯铁表面的显微硬度、耐磨性和耐腐蚀性能，且表面形成结构为Fe。N和Fe N 的针状组织，针状组织是提高纯铁性能的关键因素；高脉冲宽度下进行等离子注入及氮化有利于提高纯铁表面的机械 性能和耐腐蚀性能。 关键词：工业纯铁；等离子体浸没离子注入 ；脉冲宽度 ；摩擦磨损性能；耐腐蚀性 中图分类号 ：TB34 文献标识码 ：A 文章编号 ：1001-4381(2008)03-0067-05 Abstract：Commercialpureironwasmodifiedbyhighfrequencyandlow voltageplasmaimmersionand ionimplantation (HLPIII)atdifferentpulseduration．Themicrostructure，thesurfaceelementalcon— tents，microhardnessand wearresistancewerecharacterizedwith X_一raydiffraction (XRD)，XPS， scanningelectronmicroscope(SEM )，HXD100