轮廓精度50nm金刚石车刀的研磨加工.pdfVIP

维普资讯 第 20卷 第 2期 超 硬 材 料 工 程 VoL20 2008年 4月 SUPERHARD M ATERIAL ENGINEERING Apr．2008 轮廓精度50nm金刚石车刀的研磨2n-r① [日] 高野泰夫 摘 要 ：探讨研磨加工机与研磨工艺，目的是提高超精密加工用金刚石车刀刀尖半径轮廓的研磨精度。超 精密加工机的运动精度正在逐年提高，期待着支撑其加工精度根基的金刚石车刀的轮廓精度能得到改善。 根据传统的金g4石加工方法，调查了晶面研磨方向与可加工性的关系，确定 了研磨条件。结果，开发出新型 研磨加工机，对于刀尖半径3．91zm的金刚石车刀，其轮廓精度48nm在有效角度130。的范围内得到了确认。 关键词 金刚石刀具 ；形状精度；超精密加工；金刚石研磨 中图分类号：TQ164 文献标识码：A 文章编号：1673—1433(2008)02--o054一O2 1 绪言 工而言，晶向和研磨方向的选择对研磨精度有很大的 影响。研磨加工时的切入方法分为给予一固唇定rf载一荷蛐的H“恒 奄 ∞ ∞ 讶 0 近年来，带相机手机、高像素数码相机、DVD播放 压研磨”和强制给子切入的 “强制研磨”两种。对于前 者 ，由于研磨承受的载荷始终保持稳定，容易获得稳定 机 、液晶显示器等图像处理数字设备均使用CCD相 的研磨表面 。而对于后者 ，刚切入后承受最大研磨压 机、摄像头、光学座等透镜群。鲜明图像和高辉度液晶 力，随着切除的进展研磨压力逐渐减小。高精度的轮廓 显示器等的图像质量取决于超精密加工，高精密研磨 的单晶金刚石刀具则是实现这种加工的基本条件。但 加工最好采用后者——强制研磨 。图1表示强制研磨 的机械切入量与实际研磨的研磨加工量在 110面的不 是，高精度金刚石刀具 目前难以稳定供应。微细加工的 同研磨方向的比较。从该结果可以看出，即便是同一晶 要求精度正在逐年提升，超精密加工机的运动性能在 面 ，可加工性也会因研磨方 向的不同而有很大的差异 。 飞速地提高。这种状况下所用金刚石刀具的研磨加工 精度也必须不断地加以适应和改进 。金刚石刀具的研 磨建立在宝石研磨加工的基础上，高加工精度的实现 在很大程度上依赖工人的技术水平 。本研究的目标是 解决上述课题、注重刀尖半径数微米的金刚石车刀以 及刀尖半径的轮廓精度能在有效角度100。以上的范围 内达到50nm级的研磨精度。为实现这一 目标，开发出 具有高度运转性能的研磨加工机，研磨加工精度可接 近 目标值 。 O 10 2O 3O 机械切入量 (um) 2 金刚石的研磨法及其应用 图1 机械切人量与研磨加工量的比较 金刚石是最硬的工业材料 ，但其原子排列因晶面 本研究采用的是强