溅射法制备TiO2薄膜的耐腐蚀性.pdfVIP

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2015-09-11 发布于湖北
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溅射法制备TiO2薄膜的耐腐蚀性.pdf

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溅射法制备TiO2薄膜的耐腐蚀性.pdf

2014年12月材料工程 December2014 ofMaterials No．1z 第12期第34—38页 Journal Engineering PP．34--38 溅射法制备Ti02薄膜的耐腐蚀性 of Thin CorrosionResistanceBehavior Ti02 Films PreparedbySputtering 王军1’2，刘莹1，丁红燕3 (1南昌大学机电工程学院，南昌330031；2江西科技师范大学江西省材料表面工程重点实验室，南昌330031；3江苏省介入医疗器械研究重点实验室，江苏淮安223003) WANG Junl～，L1UYin91，DINGHong—yan3 (1 ofMechanicalandElectrical School University， Engineering，Nanchang 330031，China；2 ofSurface JiangxiLaboratory Engineering， Nanchang Key Scienceand Normal 330031， Jiangxi TechnologyUniversity，Nanchang Provincial for China；3Jiangsu KeyLaboratory Medical Devices，Huai’an 微镜(AFM)观察薄膜的微观结构和表面形貌。结果表明：沉积后的TiO。薄膜表面均匀、致密，为锐钛矿结构。600。C退火后，薄膜中有金红石相生成。基于透射谱，计算得到的薄膜光学带隙在3．2eV左右。在PBS模拟体液中，测试材料的动电位极化曲线。结果显示，沉积TiO。薄膜后，材料的耐腐蚀性得到改善。退火后，TiO。薄膜的自腐蚀电位正向移动 94mV，自腐蚀电流最小，为4．828卜A·cm～。关键词：TiOz薄膜；溅射；316L不锈钢；微观结构；耐腐蚀性 doi：10．11868／j．issn．1001—4381．2014．12．006 中图分类号：TGl74．2；R318．08文献标识码：A 文章编号：1001—4381(2014)12—0034—05 316L and{used thinfilmswere