- 1、本文档共5页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
溶胶-凝胶法制备钛酸镧铅薄膜及其介电调谐特性.pdf
第37卷 增刊2 稀有金属材料与工程 V01.37,Suppl.2
AND
2008年 5月 RAl也METALMATERIALSENGI卜mERING 2008
May
溶胶一凝胶法制备钛酸镧铅薄膜及其介电调谐特性
熊惠芳,蒋力立,唐新桂,刘秋香
(广东工业大学,广东广州510006)
薄膜。PLT28薄膜的平均晶粒尺寸为25-30nm,薄膜均匀致密。PLT28薄膜在300kWcm电场作用下,自发极化强度
kV/cm。在外加电场363kV/cm时,PLT28
(只)、剩余极化强度(Pr)和矫顽场(鼠)分别为11.9pC/cm2、0.77IlC/cm2和8.1
薄膜的相对介电常数与介电调谐率高达1242%和68.4%。
关键词:溶胶.凝胶法:钛酸镧铅;薄膜;铁电存储器;介电调谐特性
中图法分类号:TM27 文献标识码:A 文章编号:1002.185X(2008)$2.174.03
1 引 言
PLT28)做计算依据,为了方便,这里有时简称PLT,
在过去的十几年,人们聚焦铁电薄膜的生长和器 由于Pb在退火过程中易挥发,这里Pb过量10m01%。
件应用研究,如:压电、热释电和非挥发随机存取器 首先将醋酸铅、硝酸镧按一定的摩尔配比分别溶于乙
二醇甲醚中,再将二者混合在一起。升温至70℃搅
等[1~31。(Pbl。La,)Til训03(PLT)薄膜是最有前途的材料
之一,因为它具有大的剩余极化和相对低的沉积处理 拌1h;钛酸丁酯溶于乙二醇甲醚中,加入上述溶液,
温度。PLT薄膜的制备,使用了不同的沉积技术,如 继续搅拌0.5
h,形成PLT复式溶液,用乙二醇甲醚调
溶胶.凝胶法【4,5】、溅射、法【61、激光沉积法[71、金属有机节摩尔浓度至0.2—0.3mol/L。最后的溶液是清澈透明
物化学气相沉积法【s】等。在这些方法中,化学方法, 的无色溶液,可以在室温下密封保存6个月左右。
如溶胶一凝胶法与其他方法比较是最有效的制备方法, 用放置一星期以上的前驱液,通过匀胶工艺
它制备条件易于控制、具有较低的热处理温度【9,l们。
通常,用溶胶一凝胶法制备PLT薄膜,需要回流或 述前驱体溶液直接滴在清洗过的Pt/Ti/Si02/Si基片上,
高温去结晶水[1l】。近年来,作者采用了一种简单的溶 匀胶机转速为3600r/min,保持30S,制得PLT28系
胶一凝胶法、并用快速热处理工艺制备PLT薄膜[10,12]。
用醋酸铅、硝酸镧和钛酸丁酯作为初始材料,乙二纯 10min,除去薄膜中有机物,得到厚度为一层PLT28
甲醚做溶剂、冰醋酸做螯合剂。不需要回流或高温去
除结晶水,整个实验在大气中进行。在本实验中,PLT
薄膜样品先在350℃的平板炉上热分解,再用快速热 炉退火,退火温度为600℃,升温速率100℃/s,退
处理炉在550℃至650℃晶化。用这种方法制备的火10min处理,得到已晶化好的多晶PLT28薄膜。
PLT薄膜,550℃晶化处理,即具有好的结构和电性2.2分析测试
能。本文介绍钛酸铅镧铁电薄膜的制备与介电调谐率
特性。
免出现低电极Pt的强衍射峰,取向测量采用(2钼描)
2 实验
incidence
您可能关注的文档
- 湄洲湾火电厂启备变事故分析及处理.pdf
- 湄洲湾电厂厂用电切换方式及其改进.pdf
- 湖北春耕备肥充足价格震荡下行.pdf
- 湖北省城市配网供电能力研究.pdf
- 湖北省荆州市康达化工涂料实业公司面向全国转让技术.pdf
- 湖北联通率先试点集装箱式数据中心节能成效显著.pdf
- 湖南商品车滚装码头项目选址论证.pdf
- 湖南常德未雨绸缪备收购.pdf
- 湖南省石门县2011-2012年手足口病流行特征及重症病例危险因素分析.pdf
- 湖南高望界自然保护区蝗虫类昆虫的物种多样性.pdf
- 2025年一级建造师考试《水利水电工程管理与实务》冲刺必刷卷.docx
- 2025年一级建造师考试《水利水电工程管理与实务》逆袭破题卷1.docx
- 2025年一级建造师考试《市政工程管理与实务》冲刺必刷卷 .docx
- 2025年一级造价工程师考试《建设工程计价》预习卷.docx
- 2025年一级造价工程师考试《建设工程造价管理》预习卷.docx
- 2025年一级造价工程师考试《建设工程造价案例分析(安装专业)》预习卷.docx
- 2025年一级造价工程师考试《建设工程造价案例分析(土建专业)》预习卷.docx
- 2025年中级会计考试《会计实务》冲刺提分卷.docx
- 2025年中级会计考试《财务管理》冲刺提分卷.docx
- 2025年中级会计考试《财务管理》全真模拟卷.docx
文档评论(0)