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溶胶-凝胶法制备钛酸镧铅薄膜及其介电调谐特性.pdf

第37卷 增刊2 稀有金属材料与工程 V01.37,Suppl.2 AND 2008年 5月 RAl也METALMATERIALSENGI卜mERING 2008 May 溶胶一凝胶法制备钛酸镧铅薄膜及其介电调谐特性 熊惠芳,蒋力立,唐新桂,刘秋香 (广东工业大学,广东广州510006) 薄膜。PLT28薄膜的平均晶粒尺寸为25-30nm,薄膜均匀致密。PLT28薄膜在300kWcm电场作用下,自发极化强度 kV/cm。在外加电场363kV/cm时,PLT28 (只)、剩余极化强度(Pr)和矫顽场(鼠)分别为11.9pC/cm2、0.77IlC/cm2和8.1 薄膜的相对介电常数与介电调谐率高达1242%和68.4%。 关键词:溶胶.凝胶法:钛酸镧铅;薄膜;铁电存储器;介电调谐特性 中图法分类号:TM27 文献标识码:A 文章编号:1002.185X(2008)$2.174.03 1 引 言 PLT28)做计算依据,为了方便,这里有时简称PLT, 在过去的十几年,人们聚焦铁电薄膜的生长和器 由于Pb在退火过程中易挥发,这里Pb过量10m01%。 件应用研究,如:压电、热释电和非挥发随机存取器 首先将醋酸铅、硝酸镧按一定的摩尔配比分别溶于乙 二醇甲醚中,再将二者混合在一起。升温至70℃搅 等[1~31。(Pbl。La,)Til训03(PLT)薄膜是最有前途的材料 之一,因为它具有大的剩余极化和相对低的沉积处理 拌1h;钛酸丁酯溶于乙二醇甲醚中,加入上述溶液, 温度。PLT薄膜的制备,使用了不同的沉积技术,如 继续搅拌0.5 h,形成PLT复式溶液,用乙二醇甲醚调 溶胶.凝胶法【4,5】、溅射、法【61、激光沉积法[71、金属有机节摩尔浓度至0.2—0.3mol/L。最后的溶液是清澈透明 物化学气相沉积法【s】等。在这些方法中,化学方法, 的无色溶液,可以在室温下密封保存6个月左右。 如溶胶一凝胶法与其他方法比较是最有效的制备方法, 用放置一星期以上的前驱液,通过匀胶工艺 它制备条件易于控制、具有较低的热处理温度【9,l们。 通常,用溶胶一凝胶法制备PLT薄膜,需要回流或 述前驱体溶液直接滴在清洗过的Pt/Ti/Si02/Si基片上, 高温去结晶水[1l】。近年来,作者采用了一种简单的溶 匀胶机转速为3600r/min,保持30S,制得PLT28系 胶一凝胶法、并用快速热处理工艺制备PLT薄膜[10,12]。 用醋酸铅、硝酸镧和钛酸丁酯作为初始材料,乙二纯 10min,除去薄膜中有机物,得到厚度为一层PLT28 甲醚做溶剂、冰醋酸做螯合剂。不需要回流或高温去 除结晶水,整个实验在大气中进行。在本实验中,PLT 薄膜样品先在350℃的平板炉上热分解,再用快速热 炉退火,退火温度为600℃,升温速率100℃/s,退 处理炉在550℃至650℃晶化。用这种方法制备的火10min处理,得到已晶化好的多晶PLT28薄膜。 PLT薄膜,550℃晶化处理,即具有好的结构和电性2.2分析测试 能。本文介绍钛酸铅镧铁电薄膜的制备与介电调谐率 特性。 免出现低电极Pt的强衍射峰,取向测量采用(2钼描) 2 实验 incidence

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