纳米晶软磁薄膜Fe-Ti-N的结构、磁学性能和热稳定性研究.pdfVIP

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2015-09-11 发布于湖北
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纳米晶软磁薄膜Fe-Ti-N的结构、磁学性能和热稳定性研究.pdf

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纳米晶软磁薄膜Fe-Ti-N的结构、磁学性能和热稳定性研究.pdf

No．2 第39卷第2期金扁学垃 Vol-39 ACTAMETALLURGICASINICA Feb．2003204—208 2003年2月204—208页 PP 纳米晶软磁薄膜Fe—Ti—N的结构、磁学性能和热稳定性研究李丹硕有松常香荣李福粢乔利杰田中卓 (j匕京科技大学材料物删系，北京100083) 方光旦宋庆山 (中国科学院计算技术研究所，北京106080} Ti—N薄嗟结果表明：当膜成分摘要在高溅射功率900W下用RF磁控溅射方法制备了厚为630—780Din的11e 8N和Fe3．3Ti (原于分数，％，下同)在Fb一3．9Ti一8 13，5N范围内、薄膜由n’和Ti2N沉淀组成，磁化强度4”且以超过 38 55 纯铁，最高可达2 T；而斫顽力H。下降为89 A／m，可“满足针对1 Gb／cm2葛弁=储膏度的GMR／感应式复合虞写磷头中写入磁’土的需要 N原子进入口Fe使n’具有高饱和磁化强度：Ti的加入，阻止n’—斗d+’的分解，稳定r强铁磁性相n’，是Fe—TiN且囱高饱和磁化强度的原围由于由晶粒度引起晌对H。的影响程度H一々品性度D囱以下关采： f掣。cD6、晶粒度控制非常重要 N原子进入oFe龋阵的八面体间隙，引起概大的畸变，使晶粒碎化提高溅射功率世使晶粒度下降两者蚌同作帛，能使晶粒度下降到约14nil]，使皿．下降品释是择优沉淀地点，在o’品界r沉淀Ti2N能起钉扎作用，阻lL品弹迁移，使纳水品“’f能长大薄膜的钻社】和H。的稳定温度不低J：520℃ 关键词盼T卜N纳米软融薄喉．磁场热处理，高饱和融化强度中图法分类号TGll3．22文献标识码 A 文章编号 0412-196l(2003)02—0204—05 THESTRUCTURE．PRoPERTIESANDTHERMALSTA— BILITYoFTHENANoCRYSTALLINEFe—Ti—N SoFTMAGNETICFILMS LI 0 Dun．GUYousong。CHANG Fushen．QIA Xiangrong．LI Lijie．TIANZhongzhuo ofMaterials of 100083 Department Physics，UniversityScience＆TechnologyBeijing，Beijing FANG Guangdan。SONGQingshan Institute Chinese of 100080 ofComputingTechnology,TheAcademySciencesIBeijing edu．cn Oarrespondent：ANZhongzhuo，pro]fessor，Tef．(oroJ62,93421，．E—maihfqiao@ustb JVntionafⅣD执mfScienceFou