超高极高真空校准装置的研制.pdfVIP

真! 空! 科! 学! 与! 技! 术! 学! 报 第[Z 卷! 第[ 期 \[ ! ! ! ! ! ! ! ! ! 5G_PQRQ ‘aFbP; a: H;5FF3 R5_QP5Q ;P( SQ5GPaa06! ! ! ! ! [%%# 年$ 、U 月 ! 超高 极高真空校准装置的研制 ! 李得天 ! 李正海! 郭美如! 成永军! 张涤新! 冯! 焱 （兰州物理研究所! 兰州! #$%%%% ） !#$%’$() (* +#’ ,$-. )/ 01’ ,$-. 23445 ’ ()*’+, !，’ -.),/.+’ ，012 3)’41 ，5.),/ 62,/71, ，-.+,/ (’8’, +,9 :),/ 6+, （!#$%’ (#)*+*’*, - .%/)+0) ，!#$%’ #$%%%% ，1%+# ） ! ! 6%7’3’ ! ; ,2)= *).,’?1) .+@ A)), @1)@@B1==C 9))=2D)9 *2 +=’A4+*) *.) 1=*4+ .’/. +11E （FGH ）+,9 )8*4+ .’/. +11E （IGH ），J.’. 2,@’@*@ 2B IGH FGH .+EA)4@，+ B=2J @)D+4+*’2, +,9 + /+@ @1DD=CK :’4@* ，*.) 1DD)4 =’E’* 2B L% M L% N+ A+@) D4)@@14) ’, *.) IGH +=’A4+*’2, .+EA)4 J+@ D1ED)9 AC E+/,)*’+==C =)’*+*)9 *14A2OE2=)1=+4 D1ED 2EA’,)9 J’*. ,2,O)+D24+A=) /)**)4 （PQ0 ）D1EDK P)8* ，*.) B=2J @)D+4+*’2, J+@ 1@)9 *2 )8*4+D2=+*) *.) =2J)4 =’E’* 2B *.) /+1/) +=’A4+*’2, *2 L% M L% N+K R’,) PQ0 D1ED B+’=@ *2 D1ED +,C ’,)4* /+@，*.) 1,)4*+’,*C +* =2J)4 =’E’* 9)4)+@)@ J.), ’,)4* /+@ +*@ +@ *.) *)@* /+@K :’,+==C ，*.) )+=1+*’2, 2B *.) E2=)1=+4 B=2J 2,91*+,) 2B + =+@)4 24’B’) J’*. + =’,)+4 +11E /+1/) B14*.)4 4)91)@ *.) 1,)4*+’,*C 2B *.) 24’B’) 2,91*+,) E)+@14)E),*K S.) +=’A4+*’2, *).,’?1) ’,O *)/4+*)@ *.4)) E)*.29@ ++’=+A=)：B=2J @)D+4+*’2,，D4)@@14) +**),1+*’2,，+,9 9’4)* E)+@14),E),* ，*2 +=’A4+*) *.) +11E /+1/)K S.) /+1/) +=’O A4+*’2, 4+,/)@ B42E L% M L N+ *2 L% M L% N+ J’*. + 2EA’,)9 @*+,9+49 1,)4*+’,*C ’, *.) 4+,/) 2B %T ULV W $K XV K ! ! 89:;(/7! FGH ，IGH ，5+=’A4+*’2, +DD+4+*1@ ，5+=’A4+*’2, E)*.29 ! ! 摘要! 超高 极高真空校准装置由极高真空（IGH ）系统、超高真空（FGH ）系统、流量分流系统和供气系统四部分组成。使 用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气，在IGH 校准室获得了L% M L% N+ 的极高真空；提出了分流法校准真空规的方 法，使校准下限延伸到L% M L% N+ ；