辉光放电光谱仪用高稳定度高压恒流源的研制.pdfVIP

高电压技术第36卷第3期2010年3月31日 722 HighVoltageEngineering。V01．36，No．3，Mar．31，2010 辉光放电光谱仪用高稳定度高压恒流源的研制 万真真1，王永青1’2，李小佳1，王海舟1 5 kV的高电压以及5～100mA恒定可控的电流。 摘要：直流辉光放电等离子体激发光源工作时需要0．5～L 放电电流的稳定性对辉光放电光源的稳定工作至关重要，为此，研制了一种用于辉光放电光谱仪的高稳定度高压 恒流源。该恒流源用于驱动Grimm型辉光放电光源对样品进行溅射和光谱激发，恒流源采用绝缘栅双极型晶体 管(IGBT)和高精度低漂移运算放大器，结合电路图介绍了其工作原理及过压、过流、过热保护措施。经实验验证， 恒流源输出开路电压为1．1kV，输出电流为o～100mA连续可调，该恒流源的输出电流稳定性高，保证了辉光放 电光谱仪样品成分分析的精密度，其负载调整率和输入电压调整率均o．05％；此恒流源驱动Grimm型辉光放电 等离子体激发光源对金属样品溅射效果良好，给出了溅射坑表面形貌图以及显微照片、溅射速率。对GBSA6800x 不锈钢标样中的Cr、Cu、Al、w元素测试结果相对标准偏差(RSD)2．5％。 关键词：高压恒流源}绝缘栅双极型晶体管；辉光放电；原子发射光谱仪；等离子体；溅射 中图分类号：TM83 文献标志码：A 文章编号：1003—6520(2010)03—0722—06 of ConstantCurrentSource HighStabilityHighVoltage Development forGlow Emission DischargeOptical Spectrometer WANZhen—zhenl，WANG Hai—zhoul Yong-qin91”，LIXiao-jial，WANG (1．NationalCenterforIronSteel，ChinaIron＆SteelResearchInstitute Analysis Group， ofElectronicInformational071002，China) Beijing100081，China；2．College Engineering，Baoding 0．5～1．5kV and5～100mA currentare DC Abstract：The high—voltage constantlyadjustable requiredby glow excitationsource．Theof currentis forstable of dischargeplasma stabilitydischarge veryimportant workingglow a constantcurrentsourcewith was stability，which dischargesource．therefore，wedevelopedhighvoltage high usedfor