第4章(电容式).pptVIP

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* 3.1.1 变面积式电容传感器 图3.1.2是一直线位移型电容式传感器的示意图。 当动极板移动△x后,覆盖面积就发生变化,电容量也随之改变,其值为 C=?b(a-△x)/d=C0-?b·△x/d (3-1-2) 电容因位移而产生的变化量为 其灵敏度为 可见增加b或减小d均可提高传感器的灵敏度。 图3.1.3是此类传感器的几种派生形式。图3.1.3a是角位移型电容式传感器。当动片有一角位移时,两极板间覆盖面积就发生变化,从而导致电容量的变化,此时电容值为 (3-1-3) 图3.1.3b中极板采用了锯齿板,其目的是为了增加遮盖面积,提高灵敏度。当齿板极板的齿数为n,移动△x后,其电容量为 (3-1-4) 其灵敏度为 由前面的分析可得出结论,变面积式电容传感器的灵敏度为常数,即输出与输入呈线形关系。 3.1.2 变间隙式电容传感器 图3.1.4为变间隙式电容传感器的原理图。图中1为固定极板,2为与被测对象相连的活动极板。当活动极板因被测参数的改变而引起移动时,两极板间的距离d发生变化,从而改变了两极板之间的电容量C。 设极板面积为A,其静态电容量为 ,当活动极板移动x后,其电容量为 (3-1-5) 当x<<d时 则 (3-1-6) 由式(3-5)可以看出电容量C与x不是线性关系,只有当 x<<d时,才可认为是最近似线形关系。同时还可以看出,要提高灵敏度,应减小起始间隙d过小时。但当d过小时,又容易引起击穿,同时加工精度要求也高了。为此,一般是在极板间放置云母、塑料膜等介电常数高的物质来改善这种情况。在实际应用中,为了提高灵敏度,减小非线性,可采用差动式结构。 3.1.3 变介电常数式电容传感器 当电容式传感器中的电介质改变时,其介电常数变化,从而引起了电容量发生变化。此类传感器的结构形式有很多多种,图3.1.5为介质面积变化的电容式传感器。这种传感器可用来测量物位或液位,也可测量位移。 由图中可以看出,此时传感器的电容量为 ;其中: 设极板间无ε2介质时的电容量为: ;当ε2介质插入两极板间则有: (3-1-7) 式(3-7)表明,电容量C与位移x呈线性关系。 3.2 电容式传感器的常用测量电路 用于电容式传感器的测量电路很多,常见的电路有:普通交流电桥、紧耦合电感臂电桥、变压器电桥、双T电桥电路、运算放大器测量电路、脉冲调制电路、调频电路。在此主要介绍后四种电路。 3.2.1 双T电桥电路 这种测量电路如图3.2.1所示。图中C1、C2为差动电容式传感器的电容,对于单电容工作的情况时,可以使其中一个为固定电容,另一个为传感器电容。RL为负载电阻,V1、V2为理想二极管,R1、R2为固定电阻。 电路的工作原理如下:当电源电压U为正半周时,V1导通,V2截止,于是C1充电;当电源负半周时,V1截止,V2导通,这时电容C2充电,而电容C1则放电。电容C1的放电回路由图中可以看出,一路通过R1、RL,另一路通过R1、R2、V2,这时流过RL的电流为i1。 到了下一个正半周,V1导通,V2截止,C1又被充电,而C2则要放电。放电回路一路通过RL、R2,另一路通过V1、R1、R2,这时流过RL的电流为i2。 如果选择特性相同的二极管,用R1=R2,C1=C2,则流过RL的电流i1和i2的平均值大小相等,方向相反,在一个周期内渡过负载电阻RL的平均电流为零,RL上无电压输出。若C1或C2变化时,在负载电阻RL上产生的平均电流将不为零,因而有信号输出。此时输出电压值为

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