薄膜温差电材料的电化学制备、表征及其应用的研究.pdfVIP

薄膜温差电材料的电化学制备、表征及应用研究 王为 黄庆华 卜路霞 天津大学化工学院应用化学系 【摘要】温差电池作为一种绿色可再生能源，已经引起各方面的广泛关注，对温差电材料以及温差电 池的研究逐渐成为热点。温差电池可从环境接受各种形式的热能。包括各种辐射热、太阳能、人体体温、 系统运行过程的发热以及各种废热等，工作时无噪音、无排弃物，对环境没有污染，并且使用温度范围宽， 寿命长，性能可靠．是一种环境友好的绿色电池。温差电池的性能有赖于所采用的温差电材料。温差电材 料的性能可以用无量纲优值zT表征。ZT值表示为：ZT=Ta2a／2，式中口为材料的塞贝克系数，盯为材料的 电导率。A为材料的热导率，丁为温度。目前，室温范围性能最佳的温差电材料仍然是Bi2Te3掺杂化合物及 其衍生物。Bi2Te3掺杂化合物及其衍生物薄膜的制备方法一般采用物理气相沉积法。与之相比，采用电化 学液相电沉积方法制备薄膜温差电材料，不仅易于实现材料结构及性能的调控，而且操作过程简便、制造 成本低，因而具有更大的优势。天津大学自1999年开始了电沉积n型及P型薄膜温差电材料的研究，并在 材料研究的基础上，将微电子加工技术与液相电沉积温差电材料薄膜技术相结合，对微型温差电池的制备 技术进行了研究，制造出了微型薄膜温差电池。 【关键词】电沉积，薄膜温差电材料，微型温差电池，结构，性能 随着微电子技术以及MEMS技术的快速发展，微型处理器，微型传感器、微型控制器以及各种形式的 微系统已大量出现。微型化和小型化已成为高科技产品的重要标志之一。微型化的电子装置必然要求微型 电源与之相配。微型化的电子装置对电源的需求特点是高的输出电压和低的输出功率，这也正好符合各类 微电池的性能特点。目前，微电池技术的发展已经明显落后于微电子技术以及MEMS技术的发展，已经成 为制约微电子技术以及MEMS技术发展的瓶颈。 微型薄膜温差电池的最大特点，在于它可从环境接受各种形式的热能，包括各种辐射热、太阳能、人 体体温、系统运行过程的发热以及各种废热等，并高效率地直接将其转变为电能输出，且使用温度范围宽 (200．500K)，寿命长(超过20年)，性能高度稳定，无需充电。由于微型薄膜温差电池的体积大小在微米 量级并具有薄膜结构，这种电池非常适合于集成化到相应的器件上直接供电。实现电能的分散储存，提高 系统的安全性高。 目前，室温范围性能最佳的温差电材料仍然是Bi2Te3掺杂化合物及其衍生物。Bi2Te3掺杂化合物及其 衍生物薄膜的制备方法一般采用物理气相沉积法【1—4】。与之相比，采用电化学液相电沉积方法制备薄膜温 差电材料。不仅易于实现材料结构及性能的调控，而且操作过程简便、制造成本低。因而具有更大的优势 [5-8]。天津大学自1999年开始了电沉积n型及P型薄膜温差电材料的研究，并在材料研究的基础上，将微 187 电子加工技术与液相电沉积温差电材料薄膜技术相结合，对微型温差电池的制备技术进行了研究，制造出 了微型薄膜温差电池。在此介绍相关研究结果。 1．电沉积过程分析 ，．吕u．名葛、占Is口ap luaJJrIU PotentialN 图1 Bi3+、SbO+、HTe02+三种离子混合溶液在不同扫速的循环伏安曲线 对Bi”、SbO+、HTe02+三种离子混合溶液进行了循环伏安测试，结果示于图1。可以看出，随着扫速 增大，氧化峰电位向正方向移动，而还原峰电位向负方向移动，表明电极反应的不可逆程度大。阳极扫描 过程中，在+512mV附近出现了一个阳极峰。这个唯一的阳极峰表明阴极还原过程生成的是单相BhSb。Te3 化合物，证明电沉积方法可以实现铋、碲、锑三元共沉积。阴极扫描过程，在一60mV和．127mV电位附近 出现了还原峰A和B，表明电沉积Bksb，Te3化合物的过程经历了多个步骤。分析认为，还原峰A是溶 描进一步变负，电极反应的还原机理发生改变，溶液中的HTe02+还原为H2Te，与Bi3+和SbO+反应生成 Bi2．。Sb。Tea化合物，表现为还原峰B