非正态分布工艺参数情况的工序能力指数分析.pdfVIP

非正态分布工艺参数情况的工序能力指数分析 贾新章，蒲建斌，宋军建 (西安电子科技大学微电子所，西安，710071) 摘要：对工艺参数为非正态分布的工序，如果采用常规方法计算其工序能力指数， 评价生产二『_=艺水平，将可能导致错误的结论。采用本文提出的方法和开发的软件，可 以分析计算非正态分布工艺参数的工序能力指数和PPM水平下的工艺不合格品率。 关键词：工序能力指数；成品率；正态分布；非正态分布 TheProcess Index For CapabilityAnalysis Non—normalDistributionParameters JIA Xin-zhang，PUJian-bin，SONGJun-jian (MicroelectronicsInstitute，XidianUniversity,Xian710071，China) traditionalmethodtocalculate index for Abstract：Using processcapabilityCpk non—normaldistribution willresultin new conclusion．Amethodis parameters wrong andasoftware is for the and for suggested programdevelopedcalculmingCpk yield non-normaldistribution atPPMlevel． parameters distribution；non—normaldistribution Keywords：processcapabilityindex：yield；normal 现代工业生产要求工序能力指数Cpk值不低于1．5，单道工序的工艺不合格品率不 火于3．4PPM，即不大于百万分之三点四。对工序能力的评价方法提出了更高的要求。 但是，目前工业生产中普遍采用的工序能力指数常规计算方法实际上只适用于工艺参 数为正态分布的情况。本文结合实例说明，对工艺参数为非正态分布的工序，如果采 用常规方法计算其工序能力指数，将会对生产工艺的实际水平作出错误的评价。针对 这种情况，本文提出了非正态分布工艺参数工序能力指数的分析计算方法，并开发了 计算软件，能满足现代工业生产对工艺能力评价的要求。 一、工序能力指数常规计算方法 1．工序能力指数Cp‘1’ 对稳定受控的工艺，由于各种随机因素的作用，工艺参数总是呈现一定的分散性。 般情况下，工艺参数遵循正态分布，记其均值为u，标准偏差为0，如图1所示。 目前，工业生产中广泛采用下式定义的工序能力指数： ·3lS{ o=T／6々 Cp=(TU—TL)／6 (1) Tv 式中Tu和TL分别为工艺参数规范的上、下限， T为工艺参数规范范围(见图1)。 2．Cp与工艺不合格品率12】 若工艺参数服从的正态分布为N(u，o2)， 工艺参数规范的上、下限分别为1，和TL’则工 艺成品率n为： _=fN(u，盯2)ax 图1