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84镜高精度光学镜面NiP过渡层的制备方法.pdf
V|01．7
第7卷第1期 纳米技术与精密T程 No．1
2009年1月 andPrecision Jan．2009
NanotechnologyEngineering
大尺寸反射镜高精度光学镜面Ni．P过渡层的制备方法
姜 伟∽，董 慧1，张云琨1，王立波1，张忠玉1
(1．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所。长春130031；
2．中国科学院研究生院，北京100049)
摘要：为了解决高精度光学系统中铝合金、镀反射镜易钝化、难加工的问题，采用自催化镍．磷合金作为过渡层后进
行抛光的方法得到了高精度光学镜面．采用该方法所得到的镍．磷合金过渡层厚度为85岫1，磷质量分数为11．88％，
镀层显微硬度为730MPa．镍．磷合金过渡层与反射镜结合牢固、耐蚀性较好，可通过±200℃热震试验及96h中性
盐雾试验检测，适用于进行古典法抛光．经抛光后反射镜面形精度均方根值(RMS)为O．049力(面形检测波长五为
0．632
8lim)。表面疵病等级为Ⅳ级，能够满足光学系统的要求．
关键词：铍反射镜；铝反射镜；高精度光学镜面；自催化镍．磷合金
中图分类号：TGl78文献标志码：A 文章编号：1672．6030(2009)01-0041．06
ofNi--P Transitionof
Alloy LayerHigh--Precision
Preparation
Surfacefor Mirror Size
Reflection
Optical with．Large
JIANGWeim，DONGHuil，ZHANGYun—kunl，WANGLi．b01，ZHANG
Zhong．yu】
Instituteof Mechanicsand 130031。China；
(1．ChangchunOptics，Fine Physics，Changchun
2．GraduateSchoolofChinese of 100049，China)
AcademySciences，Beijing
Be
toobmin transitionwas onAI and
Abstract：Inorder a surface，Ni—P alloy
high—precisionoptical alloy layerprepared
A1reflec—
reflectionmirroranelectroless showedthataNi-P couldbeobtainedon
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