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第 23 卷 第 2 期 电子设计工程 2015 年 1 月 Vol.23 No.2 Electronic Design Engineering Jan. 2015 一种面向智能传感器的低功耗高精 sigma-delta 调制 器设计 ， ， 周文彬 1 2 ， 贾绍磊 1 2 ， 梅年松 1 ， 张钊锋 1 （1. 中国科学院 上海高等研究院 微纳器件中心 ， 上海 201210 ； 2. 中国科学院研究生院 北京 100190） 摘要 ： 设计了 一 款 工 作 在 电 源 电 压 下 ，功耗 为 ，精 度 为 ， 值 达 ，应 用 于 物 联 网 领 域 的 1.2 V 196 μW 14 bit FOM 202.4 ΣΔ 调制器 ，其 OSR 为 64 ，采用四阶前馈单位量化结构 ，大 幅 度降 低了 系统 对 OTA 的 要求 。 通 过 Matalb SD-TOOL鄄 BOX 确定系统参数 ，进 行 行为 级 建 模确 定 最 优值 ，同 时 对系 统 架 构和 电 路 模块 进 行 低功耗 分 析 ，针 对 调 制器各 级 进 行适当的增益缩放 。 该调制器采用 SMIC0.18 μ CMOS 工艺设计 ，输入信号频率为 3.4 kHz ，采样时钟为 1.28 MHz 时 ， 调制器 SNDR 达到 88.6 dB ，达到有效位 14 bit 精度 ，处理带宽 10 kHz 的要求 。 关键词 ： ΣΔ 调制器 ； 开关电容 ； 动态比较器 ； 前馈级联积分器 ； 系统建模 中图分类号 ： 文献标识码 ： 文章编号 （ ） TN432 A ： 1674－6236 2015 02-0084-04 A low鄄power and high鄄precision sigma鄄delta modulator for smart sensor 1 2 1 2 1 1 ， ， ZHOU Wen鄄bin ， JIA Shao鄄lei ， MEI Nian鄄song ， ZHANG Zhao鄄feng （ ， ， ， 1. Micro鄄Nano Device Research Center Shang Advanced Research Institute Chinese Academy of Sciences Shanghai ， ；