MEMS传感器在汽车中的应用及发展.pdfVIP

2008年6月 济南职业学院学报 Jun．2008 第3期(总第68期) JournalofJinanVocational College No．3(SerialNo．68) MEMS传感器在汽车中的应用及发展 刘成刚 (济南职业学院电子工程系，山东济南250103) 摘要：介绍汽车MEMS(微电子机械系统)传感器的应用现状及发展趋势，其中重点介绍几种传感器的原 理和结构，同时对该领域的产业化也进行了探讨。 关键宇：汽车传感器；微电子机械系统 中图分类号：TP212．6 文献标识码：A 一、引言 MEMS(Mieroelectro—mechanical systems的缩写，即微电子机械系统)是在集成电路生产技术和专用的微机电加 工方法的基础上蓬勃发展起来的高新科技，其研究开发主要集中在微传感器、微执行器和微系统三个方面，目前主导 MEMS市场的传感器已形成产业。用此技术研制的五花八门的微传感器具有体积小、质量轻、响应快、灵敏度高、易生 产、成本低的优势，可以测量各种物理量、化学量及生物量。在市场引导、科技推动、风险投资、政府介入等多重作用下， 汽车MEMS传感器发展迅速，现已成为相关部门争先投资开发的热点。在高档汽车中，大约采用25至40只MEMS传感 器，技术上日趋成熟完善，可满足汽车环境苛刻、可靠性高、精度准确、成本低的要求，极大地推动了电子技术在汽车上 的应用。 二、压力传感器 ． 汽车电子控制系统一直被认为是MEMS压力传感器的主要应用领域之·，可用于测量进气管压、大气压、油压、轮 胎气压等。最流行的汽车MEMS压力传感器采用压阻式力敏原理，这是现有几种力敏传感器中用量最大的一种，开发 出几代产品，年产量为数千万只。这种传感器用单晶硅作材料，以MEMS技术在材料中间制作成力敏膜片，然后在膜片 上扩散杂质形成4只应变电阻，再以差动全桥的方式将应变电阻连接成电路，来获得高灵敏度，电路的输出电压大多为 0—5V模拟量，测量范围取决于力敏膜片的厚度，一枚晶片上可同时制作许多个力敏芯片，易于批量生产，力敏芯片受温 度影响性能采用恒流电路补偿。 汽车用压力传感器被称为是军品的质量、民品的价格。其环境实验要求是极为严格的。封装好的传感器通过严格 的环境测试后，一般能保证0．1％一0．3％F．S．的稳定性，即使经受最严格的长时间测试，仍能维持I％F．S．的稳定性。信号 调理电路和标定及封装也是生产中的极其关键技术，科技含量超过力敏芯片的制作。例如，测量燃油喷射的压力传感 器长期与液态燃料接触，并承受高压，组装固定和安装尺寸的设计，涉及到大量的结构分析、机械应力测试、介质暴露 测试、电路修正等技术。 目前，可以提供汽车MEMS压力传感器的有美国凯乐尔、特种测量、SSI、菲尔科、德州仪器、德国博世、日本电装等 公司，一般年产量在100万只以上。这是汽车量产的需求，也是回收巨额投资的条件。部分厂家已研制成功力敏芯片与外 围信号处理电路集成化的汽车MEMS压力传感器，估计今后的价格会降至5—7美元。博世公司采用表面MEMS技术，研 制出微型化的硅质量流量传感器，很多汽车厂家正对这种新型传感器进行评估。 汽车电控燃油喷射系统EFI要使用多重压力MAP传感器，监测发动机进气歧绝对压力，提高其动力性能，降低油 耗，减少废气排放。微型硅压阻式MEMS压力传感器可用于发动机废气循环系统，替代陶瓷电容式压力传感器，汽车空 调压缩机中的压力测量也是MEMS的一个很大市场。除现有的各种应用外，另一个极具市场前景的是轮胎气压自动监 测系统，MEMS压力传感器适合于任何类型的轮胎，在轮胎胎壁埋设一小块感压力敏芯片，自动测量轮胎气压、温度、转 作者简介：刘成刚(1978一)，男，山东滨州人．济南职业学院电子工程系助教。 ·