硅衬底对纳米ZnOp-Si异质结酒精敏感性能的影响.pdfVIP

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2015-09-16 发布于湖北
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硅衬底对纳米ZnOp-Si异质结酒精敏感性能的影响.pdf

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硅衬底对纳米ZnOp-Si异质结酒精敏感性能的影响.pdf

2012年第36卷中国石油大学学报(自然科学版) V01．36No．5 ofChina ofPetroleum 0ct．2012 第5期 Joumal Universitv 文章编号：1673—5005(2012)05旬179旬5 周小岩，韩治德，李传勇，刘晓龙 (中国石油大学理学院，山东青岛266580) 摘要：采用射频磁控溅射的方法在不同电阻率的p型硅衬底上沉积氧化锌薄膜，制备了znO／p—Si异质结。通过x射 p．si异质结电流一电压特性和酒精敏感特性的影响。结果表明：zn0薄膜结晶情况良好，具有高度的c轴择优取向，表面颗粒分布均匀；zno／p．si异质结酒精敏感性依赖于p．si衬底，当p—Si衬底的电阻率为10—20Q·cm时，其气敏性能最强；该异质结在+4．OV的偏置电压下，对0．024g／L酒精气体的灵敏度为39．7％。关键词：znO薄膜；p—si衬底；电阻率；气体传感器中图分类号：0611．62；0614．24文献标志码：A doi：10．3969／i．issn．1673．5005．2012．05．034 Effectofsisubstrateonethanol g嬲se璐ingproperties ofnanometer ZnO／p—Siheteroju眦tion ZHOU Zhi-de，LI Xiao—yan，HAN Chuan—yong，LIUXiao·long 266580，吼i腿) (coz2e卵矿5ciencein观inn‰i抛m吵妒肋rofe姗l，Qi，l鲥no were Zn0filmson substrates“thdifkrentresistivities Abstract：Zn0／p·Sihetemjunctionspreparedbydepositing p-Si using micmstructureofZn06lmwas difhactionand electmn radio-fkquencymagnetmnsputtering．The analyzedbyX·ray scanning The characteristicsandethanol were atmom microscopy．current—voltage junctions gassensingpropeIties《the investigated resultsshowthatthe{ilms wellwith c—axis thesizeanddist订butionof temperature．The crystallize high orientation，and onlhesu—．aceareunifoHn．The of substrate iscdticaltoenhancetheethanol grains optimizationp·Si resistivity gassensi“vity of of10—20n·cm