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微电子器件与电路 Microelectronic Devices and Circuits 清华大学微电子学研究所 张进宇 Email：zhangjinyu@tsinghua.edu.cn Tel(O) cell) • 集成电路，芯片 • 光刻，刻蚀，氧化，离子注入 • 摩尔定律 • 金属，绝缘体，半导体 • 晶体，非晶，单晶，多晶 • 薛定谔方程，能级，量子态，自旋，态密度 • 泡利不相容原理，费米狄拉克分布， • 导带，价带，带隙，有效质量 • 载流子，空穴，电子 2 引言 1．本课程的性质与对象： 性质：半导体物理与晶体管补课复习，旨在对主流半 导体器件做一个总体的、概括性的介绍和引导； 基础知识：需要引入一些量子力学、固体物理和半导 体物理方面的基础知识，同时也有一定的深度要 求； 专