100 薄膜热扩散系数的在线测试研究 合肥工业大学理学院.pdfVIP

真 空 科 学 与 技 术 学 报 第 卷 第 期 !H ! PP 年 、月 TXSNRFR VDYZN-[ D\ ]-TYYQ FTSRNTR -N^ ARTXND[D’_ !##H E 薄膜热扩散系数的在线测试研究 许高斌 （合肥工业大学理学院 合肥 !###$ ） !#$% ’()*+),%- -. /0% 1%*2 /032)* 4%..+5%(%,6 % ’()*+, （ ， ， ， ， ） !#$$% $ !’()( *( (’ +)’,(-.’/0 $ 1(#)$%$20 *( (’ !###$ 3#’)4 785,3)9, - ,)./0 1/23,+4/ 3(5 *//, 6/./0)7/6 1) ),80+,/ /.(0(1/ 13/ 13/9:(0 6+;;5+.+1 ); 13/ 59;(2/ :+29)8:(23+,/6 7)02951(00+,/ 5+0+2), 13+, ;+0:5， 5+,= 1) 7)02951(00+,/ 5+0+2), :+29)8*/(:5 +13 13/ 5(:/ +613 (,6 13+2?,/55/5 *1 6+;;/9/,1 0/,=135 @ A3/ 13/9:(0 6+;;5+.+1 2(, */ 6/9+./6 * (,(0B+,= 1+:/ 6/7/,6/,2/ ); 13/ 13/9:(0 9/5+51(,2/ ); 13/ 1) */(:5 2))0/6 +, (+9 (1 9)): 1/:7/9(19/ @ - 19(,5+/,1 /0/219)8 13/9:(0 :)6/0 (5 79)7)5/6 +13 79)7/9 2),5+6/9(1+),5 =+./, 1) (00 7)55+*0/ ;(21)95 (;;/21+,= 13/ 2))0+,= ， ， +,206+,= 3/(1 /C23(,=/ * 2),./21+), 9(6+(1+), (,6 3/(1 6+;;5+), +,1) 13/ 5*519(1/ )9 139)=3 13/ (+9 =(7 @ D,0 E879)*/ (,6 ( 6+=+1(0 )52+00)52)7/ (9/ ,//6/6 @ A3/ 13/9:(0 6+;;5+.+1 ! J G ， ， ); 13/ 7)02951(00+,/ F+ ;+0: +13 ( 53//1 9/5+51(,2/ 5 ! ); GGH @!I ! +5 :/(59/6 1) */ # @ GHI 2: 5 @ ，