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有序蘑菇状负载型纳米TiO2光催化剂制备.pdf
第8卷第4期 纳米技术与精密工程 V01．8No．4
andPrecision Jul． 2010
2010年7月 NanotechnologyEngineering
有序蘑菇状负载型纳米Ti02光催化剂制备
陈 燕，宋新山，李 洋，柳建设，李登新
(东华大学环境科学与工程学院，上海201620)
摘要：为了解决TiO：光催化荆分散性差、难回收、难固定等问题，提出一种利用有序纳米结构作为栽体的负载型
催化荆制备技术，来制备三维纳米Ti02光催化剂．利用Si02和SiN；材料具有不同刺蚀选择比的特点，首先将SiO：纳
米球(直径60～90nm)作为掩模刻蚀衬底上的SiN。薄膜．然后将刻蚀形成的结构作为载体。利用磁控溅射技术在其
上制备Ti02薄膜．实验结果表明，样品经刻蚀后形成由SiN，纳米柱和Si02纳米扁球组成的三维纳米栽体，所制备的
Ti02分散地负载在该纳米载体上，形成一种由Ti02、Si02和SiN，构成的蘑菇状三维纳米复合体系．这种通过纳米球
刻蚀结合镀膜的方法是制备纳米栽体及三维纳米负载型催化剂的技术之一．利用该技术制备的负载型催化刺分散
性好、易于回收和重复利用．
关键词：有序的；纳米蘑菇状载体；TiO：光催化剂
中图分类号：X13 文献标志码：A 文章编号：1672-6030(2010)04-03134)4
FabricationofOrderedMushroom-Like
Supported
Nano Photocatalyst
Ti02
CHEN
Yah，SONGXin—shan，LIYang，LIUJian·she，LIDeng—xin
ofEnvironmentalScienceand
(School University，Sh{m#ai201620，China)
Engineering，Donghua
viewofthe ofusual in and
Abstract：In poorperformanceTi02photocatalystdispersion，recyclefixing，
a fabrication fororderednanostructure waB forwardtofabricate
technique supportedphotocatalystput
and different
three—dimensional(3D)nanoscale
Ti02photocatalyst．AsSi02 SiN。had etchingrates，Si02
nmin used鹅masktoetch andthenthestructure
diameter)were
nanospheres(60—90 firefly SiN：film
formed Was which filmwasfabricatedwith tech—
byetching
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