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水處理工程 RO-system DI water系統示意圖 原水桶 活性碳槽 陰樹酯槽 陽樹酯槽 One pass RO Two pass RO 1 1 RO純水桶 精鍊陰樹酯槽 精鍊陽樹酯槽 UV燈 18M-?製程用 超純水 2 3 US Semiconductor DI Water Guidelines Guidelines 4M 16M 64M 256M 1G Resistivity 18.2 18.2 18.2 18.2 18.2 TOC(ppb) 5 5 2.5 1 0.5 Particle 0.05 - 1000 400 100 - 0.1-0.3 1000 100 - - - 0.3 1 - - - - Bateria/100ml (SEM) 0 0 - - - (EPI) 1 0 - - - Dissolved Silica (ppb) 1 0.5 - - - Dissolved Oxygen (ppb) 10 5 5 1 - * * 鴻 維 濾 材 科 技 股 份 有 限 公 司 濾材過濾原理及水處理技術簡介 報告人:吳信樂 大 綱 水處理工程 1 2 3 過濾原理及機構 濾心的基本性質 過濾機構 遮蔽或篩除機構(Interception or sieving) 凝結機構(Coalesence) 慣性衝擊機構(Impaction -impingement)* 微布朗擴散機構(Brownian diffusion)* 靜電吸附機構(Electrostatic attraction) sieving Coalesence 濾心的基本性質Basics of Filter 1. 過濾效能 Efficiency 2. 過濾精度 Accuracy 3. 壓差 Pressure Drop 4. 使用壽命 Volume 過 濾 效 能 Efficiency Nin :過濾前雜質濃度 Particle concentration before filtration Nout:過濾後雜質濃度 Particle concentration after filtration 過 濾 精 度 Accuracy 公稱精度Norminal : 對某特定粒徑的雜質過濾效能達到50%~85%。 Filtration Efficiency for certain particle size at least 50%~85% 絕對精度 Absolute : 對某特定粒徑的雜質過濾效能達到99.5%以上。 Filtration Efficiency for certain particle size at least 99.5% 過濾效能 = Nin - Nout Nin Inlet Outlet N’in Nout Nin E = Nin - Nout Nin E’ = N’in - Nout Nin 壓 差 Pressure Drop 壓差(△P) = PIn ? Pout Pin : 過濾前流體壓力 Pressure before filter Pout : 過濾後流
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