液氮冷却法全无机智能窗器件的制备及其性能研究.pdfVIP

第29卷第5期 光 学 学 报 V01．29，No．5 2009年5月 ACTAOPTICASINICA May，2009 文章编号：0253—2239(2009)05—1424—07 液氮冷却法全无机智能窗器件的制备及其性能研究 王怀义1’2 刁训刚1 王武育3 杨海刚1 郝维昌1 王 聪1 王天民1 2北京印刷学院基础部，北京102617、 ／1北京航空航天大学理学院。北京100083I ＼ 3北京有色金属研究总院，北京100088 ／ 摘要为降低溅射过程中基片温度的上升，进而成功制备非晶多孔、纳米微晶态电致变色薄膜和非晶态离子导电 薄膜，介绍了一种配置于磁控溅射设备的液氮冷却装置。利用该装置制备了由w()。、NiOx和LiNb0。薄膜组成的 单基片全无机电致变色智能窗器件。采用分光光度计对该器件的电致变色性能进行了测试，并计算了它的漂白和 着色态在400nm到800nm波长范围内的平均透射率。实验结果表明，经过50次循环后，该器件的漂白和着色态 “Nb0。薄膜分别为非晶多孔、纳米微晶和非晶态结构。 关键词薄膜；磁控溅射；液氮冷却；全固态；电致变色；智能窗 中图分类号0484．1 文献标识码 A doi：10．3788／AO1424 Fabricationof SmartWindowDevice Substrate All-Inorganic byCooling with and onItsPerformance NitrogenStudy Liquid Diao Xungan91WangWuyu3Yang WangHuaiyil’2 Haigan91 Hao Tianminl Weichan91Wang Wang Con91 School 100083，China ofScience，BeihangUniversity，BeOing 2 ScienceEducation Instituteof 102500，China Department。BeijingGraphicCommunication，Beijing 3 GeneralResearchInstitute 100088。China yorNon-ferroz罐Metals。Beijing AbstractInorderto increaseof andthenobtain slowdownthe substratetemperature duringsputtering electrochromicfilmsw