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半导体器件物理课件-MOSFET 及相关器件.ppt
CMOS(complementary MOS)由成对的互补p沟道与n沟道MOSFET所组成.由于具有低功率损耗以及较佳的噪声抑制能力,CMOS逻辑为目前集成电路设计的最常用技术.由于低功率损耗的需求,目前仅有CMOS技术被使用于ULSI的制造. 如图所示为CMOS反相器的结构,其中p沟道与n沟道MOSFET均为增强型晶体管。p与n沟道晶体管的栅极连接在一起,并作为此反相器的输入端,而它们漏极亦连接在一起,并作为反相器的输出端.n沟道MOSFET的源极与衬底接点均接地,而p沟道MOSFET的源极与衬底则连接至电源供应端(VDD) 。 CMOS与双极型CMOS(BiCMOS) CMOS反相器 当输入电压为低电压时(即Vin=0,VGSn=0<VTn),n沟道MOSFET关闭,然而由于|VGSp|≈VDD|VTp|,(VGSp与VTp为负值),所以p沟道MOSFET为导通态.因此,输出端通过p沟道MOSFET充电至VDD。 当输入电压逐渐升高,使栅极电压等于VDD时,因为VGSn=VDDVTn,所以n沟道MOSFET将被导通,而由于|VGSp|≈0|VTp|,所以p沟道MOSFET将被关闭.因此输出端将经n沟道MOSFET放电至零电势. CMOS与双极型CMOS(BiCMOS) 如图所示为CMOS反相器的输出特性,其中显示Ip以及In为输出电压(Vout)的函数.Ip为p沟道MOSFET由源极(连接至VDD)流向漏极(输出端)的电流;In为n沟道MOSFET由漏极(输出端)流向源极(连接至接地端)的电流. 需注意的是在固定Vout下,增加输入电压(Vin)将会增加In而减少Ip。然而在稳态时,In应与Ip相同.对于给定一个Vin,可由In(Vin)与Ip(Vin)的截距,计算出相对应的Vout. CMOS与双极型CMOS(BiCMOS) 如图所示的Vin-Vout曲线称为CMOS反相器的传输曲线。 CMOS反相器的一个重要的特性是,当输出处于逻辑稳态(即Vout=0或VDD)时,仅有一个晶体管导通,因此由电源供应处流到地端的电流非常小,且相当于器件关闭时的漏电流.事实上,只有在两个器件暂时导通时的极短暂态时间内才会有大电流流过。因此与其他种类如n沟道MOSFET、双极型等逻辑电路相比,其稳态时的功率损耗甚低. CMOS与双极型CMOS(BiCMOS) CMOS有低功率消耗及高器件密度的优点,使其适用于复杂电路的制作.然而与双极型技术相比,CMOS的低电流驱动能力限制了其在电路上的表现.BiCMOS是将CMOS及双极型器件整合在同一芯片上的技术.BiCMOS电路包含了大部分的CMOS器件以及少部分的双极型器件,它综合了双极器件高跨导、强负载驱动能力和CMOS器件高集成度、低功耗的优点,使其互相取长补短,发挥各自优势,给高速、高集成度、高性能的LSI及VLSI的发展开辟了一条新的道路.然而,这需增加额外的制作复杂度、较长的制作时间及较高的费用. CMOS与双极型CMOS(BiCMOS) 双极型CMOS(BiCMOS) 半导体存储器可区分为挥发性(volatile)与非挥发性(nonvolatile)存储器两类。挥发性存储器,如动态随机存储器(DRAM)和静态随机存储器(SRAM),若其电源供应关闭,将会丧失所储存的信息。相比之下,非挥发性存储器却能在电源供应关闭时保留所储存的信息。目前,DRAM与SRAM被广泛地使用于个人电脑以及工作站,主要归功于DRAM的高密度与低价格以及SRAM的高速。非挥发性存储器则广泛应用于如移动电话、数码相机及智能IC卡等便携式的电子系统中,主要是因为它提供低功率损耗及非挥发性的能力。 MOS存储器 半导体存储器 如图所示为一DRAM的存储单元阵列。存储单元含有MOSFET以及一个MOS电容器(即1T/1C存储单元)。 MOSFET的作用就如同一个开关,用来控制存储单元写入、更新以及读出的操作,电容器则作为电容存储之用。 在写入周期中,MOSFET导通,因此位线中的逻辑状态可转移至储存电容器中。在实际应用上,由于储存端虽小但不可忽略的漏电流,使得储存于电容器中的电荷会逐渐地流失。因此,DRAM的工作是“动态”的,因为其信息需要周期性(一般为2ms~50ms)地重新更新。 MOS存储器 DRAM 1T/1C DRAM存储单元的优点在于其结构非常简单且面积小.为了增加芯片中的存储密度,按比例缩小存储单元的尺寸是必须的,然而由于电容器电极面积也会随之缩减,因而降低了电容器的储存能力. 为了解决这一问题,可利用高介电常数的材料采取代
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