钇稳定氧化锆薄膜的制备及其微细加工.pdfVIP

第lo卷 第2期 无机材料学报 Vol19No2 2004年3月 Jo[zrrtalof MateriMs Mar，2004 Inorganic 文章编号：i000—324X(2004)02—0424—05 钇稳定氧化锆薄膜的制备及其微细加工 张卫华，赵高扬 (西安理I大学材料科学与I程学院，西安710048) 摘 要；以甲醇为溶剂，硝酸氧钴，硝酸钇为前驱物，采用溶胶．凝胶方法，通过引入化学 修饰剂乙酰丙酮(AcAcH)，使己酰丙酮和锆离子形成螫合物，得到了具有紫外光感光性的溶腋 及其凝胶薄膜，提出了Ysz薄膜的微细图形DH．T-新方法．uv—Vis分光光度计的紫外光谱测 试结果表明：乙酰r阿酮与锆离子形成的螯台物在室温、可见光、大气环境下．可以存在于凝胶 薄膜中，并具有较