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PCM - 简介，流程，原理 简 介 PCM(Process Control Monitor) 工艺控制测试 又称 WAT(Wafer Acceptance Test)硅片可接受测试 目前它是半导体加工厂，用来控制硅片出厂质量的一种有效方法，其测试报告也是硅片递交客户表明硅片合格的重要依据。 是用来监控工艺的重要手段之一。 PCM测些什么？ 例如 ，我们在组装一辆汽车前，我们首先要保证是那些被组装的每一个部件都必须是合格品。因此我们在组装前必须检测每一个部件，用合格品组装如一辆合格的汽车。 PCM是检测芯片中各种部件的样品 我们生产的芯片是由成上千上万个,各种电子器件如：电阻、电容、导线、三极管、二极管等组成,它们被密集而有序的集成在一起，在达到我们所需的功能等。 在如此高的密度和微小的尺寸下，使我们无法直接从电路中检测电子器件好坏。 PCM检测芯片中各种部件的样品 为此,我们在做电路的同时，也将各种电子器件单独的做在PCM测试图形中。以便于我们对其特性，进行单独测试。假如每种器件都是合格的，那么我们用的合格器件组装成电路,当然也应是合格的。如果我们同时在PCM的图形中加入一些,能监测某工序的测试结构，PCM也就具 备相应的监控功能 。 PCM 的设备 PCM 的设备就目前而言主要有两家供应商，那就是Ｋeithley 和 Agilent ，以及探针台和探针组成。 PCM 的设备的组成 但无论是哪家公司生产的PCM设备都是有一些电流、电压源、电流电压表，再外加一些电容表、频率计、开关矩阵和控制用的组成 PCM 的设备优点和特点 高速。一个人用万用表测一个电阻一般要用3秒，而同样时间PCM系统可测600个电阻并且同时记录测量值 精确和重复性好，其精度可达0.02% 小信号测试能力强 有可控的电压、电流源以及开关矩阵可组合成不同的模式来适应测试要求。 易于操作和数据收集容易 PCM 的探针卡和探针台 我们有了测试仪和测试图形之后，如何来测量仍然很微小的器件？这时就需借助探针卡，我用电缆将测试仪和探针卡连接起来，用探针卡放在探针台上与硅片上的测试结构接触，然后对其进行测量。当测完一个后控制探针移动硅片进行下一个测试，直到全部完成。 ASMC PCM 的系统构成 PCM 的测试流程 在PCM测试前,我首先要根据流程卡上的信息,将P_CODE，型号（TYPE），ＬＯＴ号输入PCM的电脑终端中,然后根据电脑提示来选择针卡进行测试 请看下图 PCM常见参数的测试和原理 在PCM测试中常见的有电阻、电流、电压和电容以及晶体管的一些特征参数。 二端法电阻测试 四端法电阻测试 又称KELVIN法 PCM常见参数的测试和原理 电容的测试 电容的测试实际与电阻的测试方法一样，不同是将所施加电流电压由直流改成交流即可。 PCM常见参数的测试和原理 双极型 晶体管的常见参数 快速测试 Vbe (在e上施加一恆定电流） Hfe =(Ie-Ib)/Ib BVceo a: Ic 为常数(快) b:扫描Ｖc 测Ic当Ic达到设定值 时读Vc （慢） PCM常见参数的测试和原理 MOS管(场效应晶体管) Vt =Vgs-Vds/2 (vds=0.1v) Ids PCM测试在工艺监控上的的应用 通过测量范德保电阻来监控溅射铝的电阻率和厚度 R□ =4.532* V/I =R*(W/L)*d PCM测试在工艺监控上的的应用 利用测量面积已知电容, 可以计算出该电容的介质层的厚度(Tox) PCM报告的阅读 在一份PCM报告上包涵诸多信息 测试日期,设备,工艺 参数名 参数规范(上,下限) 参数单位 参数编号 参数状况标识(F,N) 常见PCM测试故障 小电阻测试值出现不确定的波动 一般为探针卡接触不良需要清洗 除漏电流以外的大部参数为9999 一般为探针卡压点偏移,或CB未开 某些参数偏向一边，而其它相关参数正常 可能为某测试仪功能出现故障 怎样保证PCM测试准确性 在每台PCM测试仪中都有一块SRU即系统标准源，它包含了许多标准电阻，电容，电流，电压源。每月PCM测试仪要利用SRU做一次自检或校准，每年要送该SRU到美国做校准。 PCM的自检报告（1） 可检测的项目 PCM的自检报告（2） SRU 的自检信息 巨阵卡的自检信息 PCM的自检报告（2） 部分仪器的检测信息 感谢各位光临 * * ASMC PCM测试程序生成流程