ccd的非线性效应对改进型傅里叶变换轮廓术的影响_赵焕东.pdfVIP

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2015-09-18 发布于广东
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ccd的非线性效应对改进型傅里叶变换轮廓术的影响_赵焕东.pdf

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22　 5 　　　　　 V ol . 22, No . 5 　2000 10 O PT I CA L IN ST RU M EN T S Octo be r, 2000 CCD的非线性效应对改进型傅里叶变换轮廓术的影响赵焕东　祝必进　李志能 (,　3 10027) 　　: 在傅里叶变换轮廓术中, 由于 CCD探测器光电响应的非线 ,将在测量中引入高次项,从而对相位的求解造成较大误差,通过理论的推导定地解释了误差的来由,并用计算机进行了模拟计算,最后提出了减小误差的方法。 : 傅里叶变换轮廓术, 。 CCD Ef fect on the Fourier transform profilometry due to the CCD nonlinearity ZHAO Huandong　ZHUBij in　LI Zhineng ( Zhejiang Univ ersity, Ha ng zho u 310027) 　　 Abstract: In Fourier t rans o rm pro i lom et ry , becau se o the no nlinea r relatio nship betw een t he i rradiant incident upon a CCD det ect or and the v ol tag e it outputs , it wil l cause pha se ev alua ti on erro rs. Here, w e ex plai n the error source by theoretical deduci ng , then make . , . a simulatio n At last a method to decrease this erro r i s put orw ard Key words: Fo urier t rans o rm pro i lom et ry , CCD. 1　　 ,、 C AD / CAM、、 [ 1～ 3 ] 。( FT P) 。 ,, CCD, ,。 [2 ] ,,, , , 3。 π 2　 2. 1　 1。 R, G, S CCD。P0 , d。　　　　 22 ·8· 1　 ,, ∞ g (x , y) = r(x , y)∑ An exp {i [2πnxf 0 + nH(x , y) ] } ( 1) n= -∞ ( , ), ( , ) r x y Hx y H(x , y) = 2πf 0 BD ( 2) 　　 ( , ) = 0 , h x y