UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针.pdfVIP

第15卷第5期 光学精密工程 V01．15No．5 andPrecision Optics Engineering 2007 2007年5月 May 文章编号 1004—924X(2007)05—0735一06 UV—LIGA技术制备微型柔性镍接触探针 明平美1’2，朱 荻2，胡洋洋2，曾永彬2 (1．河南理工大学机械与动力工程学院，河南焦作454000；2．南京航空航天大学，江苏南京210016) 摘要：对探针的制作方法、关键工艺环节等进行了分析与研究，给出了基于UV—LIGA技术制备微型柔性镍接触探针的 工艺过程，分析了制备的技术关键，试验优选了关键制备环节的工艺参数，在此基础上，制作出微型柔性镍接触探针。试 min，90℃，120min；较大曝光剂量；后烘65℃