VHF-PECVD制备微晶硅材料及电池初步研究.pdfVIP

第25卷第6期 太阳能学报 、，d．25．No．6 2004年12月 ACTAENERGIAESOLARISSINICA Dec．．2004 文章编号：0254J吣96(20们)嘶m7船舶 张晓丹，朱 锋，赵 颖，薛俊明，孙 建，耿新华，熊绍珍 (南开大学光电所，天津300071) 品。随着沉积气压的逐渐增大，样品的沉积速率也逐渐增大；样品的光敏性和激活能测试结果表明：随气压的变 化两者发生了规律性一致的变化；傅立叶变换红外(ⅢR)测试表明制备的样品中含有一定量的氧，使得样品呈现 弱n型；室温微区喇曼光谱测试分析得到样品的微晶化特征与IR的分析是一致的，用高斯函数对喇曼谱解谱分析 4．24％的微晶硅电池。 关键词：甚高频等离子体增强化学气相沉积；微晶硅薄膜；微晶硅电池；微区喇曼光谱；傅立叶变换红外光谱； 中图分类号：Tl(514 文献标识码：A 被提高，也减少了一些污染物质进入的几率H。。 U 刖 吾 近年来，氢化