VHF-PECVD法制备氢化硅薄膜及单结电池.pdfVIP

第34卷第6期 人 工 晶 体 学 报 v01．34No．6 ；!!墅主生!兰旦 !Q旦曼!坠兰Q!曼!盟!旦垦旦垦鱼!塑堡!!垒堕 旦皇!!巴塾塑：型 吴志猛1，雷青松1，赵颖2，耿新华2，奚建平1 (1上海交通大学微纳米科学技术研究院，上海200030； 2南开大学光电子薄膜器件与技术研究所，天津300071) 摘要：利用VHF-PEcVD分解硅烷和氢气的混合气体来制备本征微晶硅薄膜。运用拉曼散射和x射线衍射研究了 不同硅烷浓度对薄膜的影响。随着硅烷浓度的增加，沉积速率和光敏性增加而晶化率下降。将优化的本征材料应 用到pin电池中，得到本征层厚度约为1斗m的微晶电池，效率达5．87％。 关键词：微晶硅；硅烷浓度；太阳电池 中图分类号：TN304．055 文献标识码：A SniconFilmsand Microcry