阴极蒸发特性的实验的研究.pdfVIP

中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十六届年会·中国计量测试学会真卒计量专业委员会第十一届年会 阴极蒸发特性的实验研究 张付存’肖梅张晓兵雷威 (东南大学电子科学与工程学院显示技术研究中心江苏南京210096) 摘要：热阴极是电真空器件的心脏，广泛的应用在微波管、行波管等器件中．研究热阴极中活 性物质的蒸发特性对于了解热阴极的性能、评价阴极寿命及改进其制作工艺都有着重大的意义．因 此研究阴极的蒸发特性很有必要性．本文利用四极质谱计(QMs)研究氧化物阴极的热蒸发特性。 关键词：阴极氧化物阴极蒸发特性质谱分析四极质谱计(QMS) 1热阴极研究现状及几种常用的阴极蒸发的测量方法 阴极活性物质的蒸发是电真空器件中的一个严重问题。它不仅直接影响阴极自身的寿命，而且 当活性物质蒸发到其它零件上时，会降低绝缘，增加漏电，引起栅极发射，改变接触电位差等，从 而影响器件的特征和参数…。目前的测量方法有Becker法、光谱分析法、质谱分析法、俄歇电子分 析法和晶体振荡法等。 Becker法心“3J的基本思想是在正对阴极面上放置一个钨(w)带，阴极蒸发的钡原子蒸发在钨带 上会使钨带产生热电子发射。当吸附在钨带上的钡原子达到单电子层时候，钨带的发射电流最大。光 谱分析法就是利用物质的特征光谱研究物质结构或测定化学成分的方法，将光源辐射出的待测 元素的特征光谱通过样品的蒸汽中待测元素的基态原子所吸收，由发射光谱被减弱的程度，进而求 得样品中待测元素的含量H1。俄歇电子分析法(AEs)测量蒸发的基本过程是使蒸发物沉积在某种材 料的衬底上，再利用AES的定性、定量分析能力测定蒸发物的成分和数量，还能得到蒸发速率怕儿引。 晶体振荡法是利用石英晶体的压电效应，将落在石英晶振片上的蒸发物造成的机械负载转换为谐振 频率的变化，通过简单计算检测出的谐振频率的变化就可得到蒸发速率…埔1。 质谱分析法具有测试速度快、操作简单、灵敏度高等优点，可以分辨各种蒸发物和环境气体成 分，且做到可实时检测妇儿101。目前采用较多的是：飞行时间质谱法n¨和四极质谱法u引。飞行时间质 谱法是将阴极蒸发产物通过相同电压进行加速，然后进入漂移区域，离子经过漂移路程后到达探测 器，按漂移时间进行选择，使给定的质合比的离子通过，而由接收器接收。四极质谱法是通过电子 流的作用，使样品分子电离，电离后的样品分子进入四极杆质量分离器，通过改变扫描电压，可以 使得只有特定核质比的带电粒子到达监测器，从而测出其含量。 2实验系统 本实验系统组成部分有：真空系统、四极质谱计、光学高温计、计算机、阴极加热电源。如图 l所示，阴极样品安装在支架上。工作中产生的蒸发物会通过阳极板上的小孔进入QMS的探头进行 u 分析。阴极和阳极距离大约在300m。钽金属制成的阳极厚度大概在2mm左右。阳极板上小孔的直 径大约为l-5mm。四极质谱计的探头正对着小孔上方，距离恒定。损耗的活性物质通过在QMS探头 下的阳极板小孔被四极质谱观测，而通过外接的可移动螺杆将阴极移动至品振片下方的阳极板小孔 处，损耗的活性物质通过在晶振片下方的丹l极板上的小孔被品振片收集，通过晶振设备可观测期间 的频率变化。 374 阴桩蒸发特性的实验研究 图1系统内部结构例 3蒸发实验和结果分析 3．1阴极的分解与激活 为了获得稳定而较高的发射性能，在测试阴极前．需要对阴极进行分解和激活。先将真空系统 进行抽真空，一般经过2至3天的抽取后，真空度能够达到10。～10铀ar。此时对真空系统进行烘 烤除气，烘烤温度为200℃，烘烤48小时。烘烤结束后．系统的真空度在不开四极质谱计(伽s) 的情况下可达10“mbar数量级。 分解过程：茸先将阴极的加热电源调节至34V．该电源是直接为间热式阴极的热子供电的。如 果该阴极为新阴极，会放出∞，啪、CB。、和一些N0。田为这些气体的大量放出，此时真空计会显 示真空度开始变低。等真空度下降到107mbar左右后，缓慢地将加热电压提升到5V。再扶将系统真 空度抽到10 O喝气体的放出，气压会进步的上升。 5V。将 在保持真空度在101mb