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超声学 一———————————————————————————————————————————一 一种用于气体传感器的乐甫波器件研制 陈桂，谢晓，王文，何世堂 声学微机电实验室 摘要：为了改善乐甫波器件的温度特性，本文实验研究了覆盖不同膜厚的SU一8声波导 层对乐甫波器件的温度系数的影响。采用电极宽度控制单向单相(EWC／SPUDT)结构， 设计制作了以ST-900X石英为基片，结合三种不同厚度的Su．8为声波导层的乐甫波器 件。经网络分析仪测试，制作的sU．8膜厚为0．9Sum的乐甫波器件具有较低的插入损 oC到120oC温 耗f．9．9dB)，然后结合恒温箱测量了不同Su．8厚度的器件中心频率在0 度范围内随温度的变化规律，实验拟合了不同SU．8厚度器件的一阶温度系数和二阶温 度系数，发现在60oC到80oC温度范围内，Su．8膜厚为0．95urn时，其频率温度系数(TCF) 最优，仅为0．830ppm／oC。该器件在高温物理或者化学传感器中具有很好的应用潜力。 关键词：乐甫波；SU．8；频率温度系数 O引言 wave)是一种在压电介质表面淀积一层低速波导层，通过波 乐甫波(Love 导效应将声能耦合至波导层中的一种剪切声波。由于声波导的作用，乐甫波能量 将主要集中在波导层内，因此对外界扰动非常敏感，因而具有良好的质量灵敏度； 另外，波导层的存在对叉指电极有着良好的保护，改善了器件的使用寿命：此外， 乐甫波是一种剪切声波，因而在液相环境中耦合声衰减较小，适宜于生物传感器 应用。近年来，乐甫波器件开始应用到气体传感器中。与传统的瑞利型(Rayleigh) 声表面波相比，基于乐甫波器件的气体传感器具有更高的灵敏度，同时由于其具 有响应快、体积小、成本低、易集成等特点，因此乐甫波气体传感器极具应用前 景[1,21。 在乐甫波传感器应用中，温度稳定性对于传感器的性能具有极为重要的意义， 压电基片本身的温度敏感性使得传感器响应随着测试环境温度变化而发生漂移， 从而增加了传感器的基线噪声，影响传感器的检测下限。基于改善温度稳定性的 考虑，Tomar等人【3J提出了通过控制波导层厚度，在常温环境下改善器件温度稳 定性的优化设计理论。王文等人[4,51报道了基于覆盖SU．8波导层乐甫波器件的温 度特性，由于SU．8与石英基片材料具有相反的温度系数，通过控制SU．8波导层 厚度可以获得常温下接近零温度系数的乐甫波器件。这样，在本文中提出通过控 制覆盖在ST-90。X石英表面的SU．8波导层厚度，来实现乐甫波器件良好的温度 于零的温度系数，这对于某些工作于该温度区间的传感器应用有着很好的实际意 义。例如施云芬等人[61报道了一种覆盖酞菁钯．聚苯胺化学敏感膜的声表面波气体 基金项目l国家自然科学基金项目11274340) f1胃ittlll：陈桂(出生于1990年)，女，湖北人，汉，在读研究生，研究方向为声表面波传感器 -397一 ac．cn 置讯作者l王文，wangwenwq@mail．ioa 史国型堂陵虚堂婴窒逝纪垒建匮50周年暨第五届学术交流会 传感器，用于微量含磷毒气检测。该报道指出工作温度在600C～80oC时，传感器 具有较快的响应时间和较好的检测灵敏度。 1器件设计与制作 根据乐甫波的基本原理，压电基片激发的剪切型(shearwave)声表面波，通 过波导效应耦合到具有较低剪切声速的声波导，从而形成了乐甫波。声波导的耦 合效率取决于波导层与压电基片之间的剪切声速差值。因此，文献【7】指出两者剪 切声速的差别越大，乐甫波模式的质量灵敏度就越高。另外，通过选取不同温度 系数的基片材料和声波导材料，有望改善器件的温度稳定性能。表1列出了常见 声表面波基片材料和声波导层材料的物理参数。本文选用ST-90。X石英／SU．8的 结构，这种结构基片材料ST-900X石英和波导层SU。8具有相反极性的温度系数， 有利于改善器件的温度稳