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大连理工大学电子与科学与技术学院 微电子技术概论 主讲：余隽 Tel: junyu@dlut.edu.cn 微电子技术概论 余隽，Tel:junyu@dlut.edu.cn 第二章 微电子器件物理基础 • 2.1 半导体及其基本特性 • 2.2 能带以及半导体中的载流子 • 2.3 半导体的电导率和载流子输运 • 2.4 pn结和晶体二极管 • 2.5 双极型晶体管 • 2.6 MOS场效应晶体管 • 2.7 大规模集成电路基础 2 微电子技术概论 余隽，Tel:junyu@dlut.edu.cn 无外偏压，热平衡状态下 n型 E p型 F F 扩散 漂移 Si Si Si Si Si + + + + + F F - - - - - 漂移 扩散 Si Si Si Si Si + + + + + - - - - - Si Si Si Si Si Si Si Si Si Si + + + + + - - - - - Si Si Si Si Si + + + + + - - - - - Si Si Si Si Si Si Si Si Si Si + + + + + - - - - - 空间电荷区 扩散与漂移达到动态平衡 3 微电子技术概论 余隽，Tel:junyu@dlut.edu.cn pn结的形成 正电中心 负电中心 平衡时 J +J =0 p漂 p扩 J +J =0