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固态源MBE系统生长高质量的调制掺杂GaAs结构材料和InPInP外延材料的兼容性研究.pdf
第34卷第3期 人 工 晶 体 学 报 v。1.34N。.3
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MinistryEducatio矗,N8llkaiUniversity,7nanjin300457,Ch洫a;2.KeyLaborg【ory
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Science,InstitIlteSemiconductors,ChineseAcade“IySciences,Beijing100083,China)
(胁删2蹦Mw2005)
AlGaAs/GaAs InP/InP havebeen
Abstract:The stmctures(MD—GaAs)and
modulation—doped epilayers
solid-sourcemolecular containedma—
grownby be锄epitaxy(SSMBE)system.Aftergmwingphosphomus
metllod
conditionswere deteriorated,but and
terials,gro叭h seriously byusingan印propriate optimized
conditionsviaHall electmn of1.86×105cm2/Vsformodulation.
growth measurements,77Kmobility
mGaAs/G以s for
stmctures,2.09×105c一/VsSi:AlGaAs/GaAsstmctures,4.57×
d叩ed 8-doping
104cm2/VsforInP/InP wereachieved.7IheresultsshowtllattheInP witht}licknessless
epilayers layer
materialt}le
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