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声表面波耦合模模型参量的快速计算.pdf
第32卷第4期 声 学 学 报 V01．32，No．4
2007年7月 ACTAACUSTICA Jul．，2007
声表面波耦合模模型参量的快速计算冰
刘建生1，2 何世堂1
(1 中国科学院声学研究所 北京 100080)
(2中国科学院研究生院 北京 100080
2006年5月8日收到
2007年1月18日定稿
摘要根据分层介质理论精确求解压电基片和金属膜中的声波，计算了声表面波传播速度、机电耦合系数、静电容．结合陈
LiTa03
一Haus理论，分析了短路栅阵的声表面波的传播特性。得到新的单电极栅阵栅条反射系数计算公式。计算了X-112。Y
上镀铝和ST石英上镀金两种情况下的耦合模模型参量，理论计算结果和国际上通用的Hashimoto程序计算结果吻合较好．
实验测定了ST石英上镀金的反射系数，测试结果和理论结果更加符合．
PACS数：43．35，43．60
Thefast ofthe of
calculation surface
parameters
acousticwaves ofmodesmodel
coupling
LIU HE
Jianshen91·2Shitan91
Institute Sciences
ofAcoustics，Chineseof
(1 Academy Beijing100080)
Graduate
(2 University吖ChineseAcademyⅣSciencesBeijing100080)
Received
May8，2006
Revised
Jan．18，2007
AbstractAccuratesolutionsofacousticwavesin substrateandmetalfilmwith structurewere
piezoelectric layered
obtained．Phase constantandstatic werecalculatedbased the
velocity,electromechanical capacitance upon
coupling
solutions．Chenand wasusedto surfaz．eacousticwavesinshorten with
Haus’theory analyze gratings fingerevery
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