高光束质量大功率垂直腔面发射激光.pdf

第41卷第12期 红外与激光工程 2012年12月 and Dec．2012 V01．41No．12 InfraredLaser Engineering 高光束质量大功率垂直腔面发射激光 宁永强，张星，秦莉，刘云，王伟，张立森，王贞福，王立军 (发光学及应用国家重点实验室，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春130033) 摘 要：大功率垂直腔面发射激光器(VCSEL)在激光泵浦、激光测距、激光雷达等领域有广泛的应用 前景，但目前的常规激光器材料结构尚未针对大功率激光输出进行优化设计。特别是为获得大功率 激光输出所采用的大出光窗口导致的激光光束质量劣化成为限制其应用发展的核心问题之一。针对 上述问题对激光器材科结构与器件结构进行了两方面的新结构设计和研制：(1)以实现大功率激光 输出为目标，材料结构设计上对出光窗12一侧的N—DBR反射率进行了调整，以具有99．3％反射率的 n-DBR替代常规结构中所采用的99．7％以上反射率。与常规材料结构相比，采用优化后的材料结构 窗口直径100斗m的5x5阵列在100A电流下的激光输出功率为103W，单元直径为140斗m的8x8 阵列在130A注入电流下的激光输出功率达到115W；(2)针对大出光窗口导致的光束质量劣化，通 过湿法化学刻蚀研制了直接集成在出光窗12表面的微透镜结构，单元出光窗口直径为90斗m的6x6 阵列器件在4A注入电流下的激光光束发散角压缩到6．6。，与未集成微透镜时的14．8。相比有了大幅 改善。实验结果表明：降低n-DBR反射率及集成微透镜结构有效地改善提高了大功率垂直腔面发射 激光的输出功率和激光光束质量。 关键词：垂直腔面发射激光器； 大功率； 高光束质量； 微透镜； 窄脉冲 中图分类号：TN21文献标志码：A 文章编号：1007—2276(2012)12—3219-07 beam High-powerhigh qualityvertical--cavity ittime-ecalrussresal lasers surfac,emitting Li，Liu NingYongqiang，Zhang)【ing，QinYun，WangWei，ZhangLisen，WangZhenfu，WangLijun ofLuminescenceand Instituteof and (StateLaboratory Mechanics Key Applications，ChangchunOptics，Fine Physics Chinese of Academy 130033，China) Sciences，Changchun laser of beusedasthe source vertical-cavity lasers(VCSEL)Can Abstract：High-powersurface—emitting laser materialstruct