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新型硅微加速度传感器的设计与制作.pdf
ISSN 1000-0054 ( ) 1999 39 S1 22/ 31
CN 11-2223/ N J T singhua Un iv ( Sci Tech) , 1999, V l. 39, N . S1 8487
新型硅微加速度传感器的设计与制作*
李军俊, 刘理天, 杨景铭
, 100084
研究了一种新型的谐振式硅微加速度传感器, 对其 IC ,
结构和工艺进行设计, 并 作出了一系列不同结构和尺寸的
这种器件。该加速度传感器在 作支撑梁的同时 作了用于
检测信号的谐振梁, 并采用电阻热驱动 压、阻桥同步检测的 1 结构设计
方法来获得信号输出。设计方案利用了压阻传感技术和体硅 1. 1
微加工技术, 又拥有谐振原理所带来的高分辨率, 高稳定性
ALGOR
和易于与信号处理电路结合的优点, 以较低的成本获得了很
2 ,
高的器件性能。其结构尺寸从 3 mm ×4 mm 到6 mm ×
6 mm 不等。 ,
微加速度传感器; 微机械加工技术; 谐振梁; 压阻
效应 ;
405, 824. 4
T N T H
1) 单梁结构
,
, d ( )
, M x
, ,
[ 6]
4 2 2
, EI W (x , t) - W (x , t ) + !A W (x , t) =
, 1) x 4 x 2 t2
2
2) M d (x , t )
x 2 .
, W (x , t) , E ,
I , , !, A
, ,
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