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基于共焦法的透镜厚度测量系统设计.pdf
第32卷第7期 仪 器仪表学报 V01．32No．7
2011年7月 Chi北seJ伽malofScienti6cInstnIn呦t Jlll．201l
基于共焦法的透镜厚度测量系统设计
乔杨，张宁，徐熙平，刘涛
(长春理工大学光电工程学院长春130022)
摘要：研究通过分析共焦法检测透镜厚度的原理，并结合实际，给出了共焦光学系统的设计指标及要求，据此设计了一套共
焦光学系统，结合光纤、耦合器、光谱仪等设备构成了基于共焦原理的透镜厚度测量系统。文中分析了本共焦光学系统的公差，
分析结果表明，所给公差相对较宽松，整个光学系统设计合理，且在此公差下，本光学系统仍能清晰成像。本系统的测量范围至
少为15咖，可以有较广泛的应用。对于普通的l(9玻璃，本检测系统的测量范围可达23．4咖，测量精度为lp皿I。
关键词：透镜厚度测量；共焦法；光学系统设计
中图分类号：’IH74l文献标识码：A 国家标准学科分类代码：470．40
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