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射频磁控溅射法制备含银类钻碳薄膜的结构与性能.pdf
第19 卷第1 期 粉末冶金材料科学与工程 2014 年2 月
Vol.19 No. 1 Materials Science and Engineering of Powder Metallurgy Feb. 2014
射频磁控溅射法制备含银类钻碳薄膜的结构与性能
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王翠凤 ，邱锡荣 ，张雅珍 ，欧耿良
(1. 福建信息职业技术学院 机电工程系，福州 350003 ；2. 高雄应用科技大学 模具工程系，高雄 80706；
3. 台北医学大学 口腔医学院，台北 11041)
摘 要：为了明确银原子含量对含银的类钻碳类(diamond like carbon ，DLC)薄膜抗菌率和薄膜性能的影响，改变
溅射功率，采用射频磁控溅射法在玻璃基底上制备一系列不同 Ag 含量(原子分数，下同) 的Ag-DLC 薄膜。通过
扫描电镜、拉曼光谱分析仪、透射电镜、X 射线衍射仪、原子力显微镜等手段，研究Ag-DLC 薄膜的C 键结形态
以及等对薄膜的特性与抗菌率等。结果表明，随溅射功率增加，薄膜厚度、薄膜中Ag 含量以及D 峰与G 峰的积
分强度比值ID/IG 都增加。并且薄膜表面逐渐变得粗糙，薄膜的硬度和电阻率均下降。生物特性上，随溅射功率增
加，薄膜对大肠杆菌(E.coli)表现出更加优良的抗菌性能。当溅射功率为 200 W 时，薄膜中 Ag 的原子分数为
19.77%，足以保证薄膜具有优良的抗菌性能，抗菌率达到98% 。
关键词：Ag-DLC ；溅射；抗菌能力
中图分类号：O484 文献标识码：A 文章编号：1673-0224(20 14)1-108-08
Microstructures and properties of Ag-DLC films prepared by
magnetron reactive sputtering
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WANG Cui-feng , CHIOU Shi-yung , CHANG Ya-chen , OU Keng-liang
(1. Department of Mechanical and Electrical Engineering,
Fujian Polytechnic of Information Technology, Fuzhou 350003, China;
2. Department of Mold and Die Engineering, National Kaohsiung University of Applied Science, Kaohsiung 80706;
3. College of oral medicine, Taipei Medical University, Taiwan Taipei 11041)
Abstract: To clarify the effects of silver (Ag) atom content on antibacterial rate and
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