射频磁控溅射法在玻璃上制备紫外吸收和透明导电双功能薄膜.pdfVIP

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2015-09-24 发布于湖北
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射频磁控溅射法在玻璃上制备紫外吸收和透明导电双功能薄膜.pdf

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射频磁控溅射法在玻璃上制备紫外吸收和透明导电双功能薄膜.pdf

第34卷第10期硅酸盐学报 V01．34，No．10 2006年10月 OFTHECHINESECERAMICSOCIETY October，2006 JOURNAL 射频磁控溅射法在玻璃上制备紫外吸收和透明导电双功能薄膜倪佳苗，赵青南，王鹏，赵修建 (武汉理工大学，硅酸盐材料工程教育部重点实验室，武汉430070) n·cm之间。该双层镀膜玻璃具有截止紫外线和透明导电双功 75％)性能外，还具有导电性，方块电阻在80～90例口之问，电阻率在(3．2～3．6)×10—3 能。关键词：铈钛混合氧化物／掺锑氧化锡薄膜紫外线截止／透明导电玻璃；射频磁控溅射中图分类号：0484文献标识码：A 文章编号：0454_5648之006(10卜1182_05 DoUBLEFUNCTIoNALFILMSWITHUVABSoRPTIoNANDTRANSPARENTCoNDUCTIoN DEPoSITEDoNGLASSBY MAGNETRoNSPUTTERING RADIo‘FREQUENCY NIJ1cImin0．ZHAo Qjngnan，珊ANGPeng，ZHAoXi匈{an MaterialsScience锄d ofEducation，wuhan ofMinistry (KeyLabomto巧ofSilicate Engineering 430070．China) aseriesof withdifreremmolarratiosof to were Ce02-Ti02 Ce02Ti02 Abstract：Sn02：Sb(6％，inmole)t哪et，aIld ta唱etS pr印ared． these filmsand filmswere onsoda—limesubstratesradio6．e— Byusing targets，Ce02一Ti02Ce02』n02／Sn02：Sbdeposited glass by nlmswerecharacteriZed transmission quencyma印etronsputtering．TheCe02—Ti02 byultraviolet(uV)一Visible and di箭action．Theresultsshowthatthestmctureofthe spectmscopy，X-rayphotoelectronspectroscopyx—ray Ce02一Ti02films， a11dO．6：O．4 has deposited、viththe珂(Ce02)：盯(Ti02)=O．5：O．5ta唱e虹，appears锄。印housphases，andhi曲uV visible