激光切割中焦点位置检测方法研究.pdfVIP

制造业自动化 激光切割中的焦点位置检测方法研究 朱国力，段正澄，龚时华 （华中理工大学 机械学院，武汉 !##$! ） 【 】 摘要 激光焦点位置检测与跟踪技术是激光加工的关键技术之一，本文讨论了激光切割 加工系统中焦点位置误差的产生和常用的两种检测系统的组成原理及其使用中的优缺点，分 析了切割过程中等离子云对电容传感器的干扰机理，进而提出了两种有效的解决方法。 【 】 关键词 激光加工；传感器；焦点跟踪 【中图分类号】 【文献标识码】 ./0 *1 # 2 【文章编号】 （ ） *’’) ( ’ *!# ’’’ * ( ’’!! ( ’# ’()*+,) - .34 56748 9:;7 6=: ( =86;?@A =4;3@:5:AB ?7 :@4 :9 4B =4;3@:5:A?47 =: 4@784 56748 ;==?@A C8:;477?@A D65?=B1 .34 E6B7 :9 C8:F;?@A 56748 9:;7 C:7?=?:@ 488:8G 488:8 :9 朱国力 E:8C?4;4 736C4G 488:8 :9 9?H?@A 6@F 488:8 :9 C8:A86II?@A 684 ?@=8:F;4F 9?87=1 .34@ =E: ?@F7 :9 7=8;=847 :9 56748 9:;7 C:7?=?:@ F4=4;=?@A 7B7=4IG 7?@A ?@F;=6@;4 =86@7F;48 6@F ;6C6;?=6@;4 =86@7F;48 67 74@7:8G 684 F?7;774F1 .34?8 6FJ6@=6A47 6@F F?76FJ6@=6A47 684 F?7;774F 9:55:E?@A1 .34 C8?@;?C54 3:E C567I6 ;674F ?@ 56748 ;==?@A C8:;477 F?7=8K7 F4=4;=?@A :9 56748 9:;7 C:7?=?:@ ?7 6@65BL4F1 .E: E6B7 =: :J48;:I4 =3?7 F?7=8K?@AG ;36@A?@A =34 736C4 :9 C:54 C56@ :9 ;6C6;?=6@;4 =86@7F;48 6@F ?@F?84;=5B F4=4;=?@A E6BG 684 7=F?4F 9?@655B1 ./0 12*3(- 56748 ;==?@AM I:=?:@ ;:@=8:5548M 9:;7 =86;?@A 用于高速加工和像! 维加工这样需要非接触检测的 # 引言 场合；电容传感器，具有响应速度快，检测精度高等 激光切割加工具有切割精度高、切割速度快、热 优点，但在使用过程中存在非线性和易受激光切割 效应低、无污染、无噪音等优点，在汽车、船舶、航空 加工过程中产生的等离子云和喷渣的干扰的影响。 航天和电子工业中都得到了广泛的应用。而激光切 本文将系统讨论激光切割加工中激光焦点位置 割加工质量与激光焦点与工件之间的相对位置有着 误差的产生途径和自动消除误差的控制系统的组 密切的关系，保证激光焦点和切割对象之间的合理 成。在此基础上分别讨论了两种传感器检测系统组 的相对位置是保证激光切割加工质量的关键之一。 成以及实际使用中存在的不足和克服的方法。 激光聚焦的焦点位置无法直接测量，但可以通 % 激光切割过程中焦点位置误差的 过间接方法检测。对于一个激光切割加工系统，其 焦点位置是由聚焦镜的光学焦点决定的，所以在聚