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公共技术服务中心 EDS操作指南 EDS 操作指南 EDS是利用特征 X射线能量不同来展谱的能量色散谱仪，简称能谱仪（Energy Dispersive Spectrometer，简称 EDS）。 EDS本身不能独立工作,而是作为附件安装在 SEM上。它由探测器、前置放大器、 脉冲信号处理单元、模数转换器、多道分析器、小型计算机及显示记录系统组成， 实际上是一套复杂的电子仪器。 EDS 具体操作过程 1. 确认能谱能否工作 Si(Li)探测器必须在低温环境下才能正常工作，所以在做 EDS之前，需要检查能谱的杜 瓦瓶中是否还有液氮 。如果杜瓦瓶中没有液氮，则须补充。在刚加入液氮的 1-2 小时内， 由于探测器还未完全冷却，EDS不能工作。这时打开EDS的控制电脑，会发现机箱上的HV Bias 灯为红色。等待至探测器完全冷却，灯变绿色，此时 EDS可以正常工作。 2．样品制备及装入 EDS的制样及装入与 SEM相同，但对于样品的制备有较高的要求。 （1）样品要尽量平。 （2）样品须导电。 （3）非导电样品，需要喷镀金膜的，要确保金或铂在谱图上的峰位，不会影响样品本 身所含元素的峰位。 3．在SEM中观察图象 3.1在 SEM中设定条件 在做 EDS时，扫描条件的设定主要包括加速电压、发射电流、探针电流和工作距离的 设定。 (1)加速电压通常设定在 15kV-20kV之间。 (2)发射电流通常设定在 7uA-20uA之间。 (3)探针电流设置为“High”模式。 (4)工作距离设定为 15mm. 3.2在 SEM中根据“SEM操作指南”把图象调清晰。 4．谱图观察 第 1 页 共 4 页 公共技术服务中心 EDS操作指南 4.1简明操作过程 1.加速电压和放大倍数设定 2. 时间常数选择，调节死时间 参数设定 在 20%-40% 启动 EDS 外部控制 点 Image Collect 键，EDS 自 动开启外部控制 扫描方式选择 点、面扫描 线扫描 面分布 区域选择 数据存储预设 谱图采集 峰标定 定量计算 数据保存 释放 EDS 外部控制