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渗碳气氛中的参比测量 渗碳工艺控制中最重要的参数就是气氛的温度和碳势。温度通常可由热电偶（温度传感器）测得。 而对于碳势的控制，则可以采用现场氧探头和 Lambda 探头（L-sonde）通过对炉内气氛的氧分压进行测 量来完成。但是无论是热电偶还是氧探头在残氧测量中其精度都会慢慢降低。因此，要想实现精确控制， 则必须通过参比测量来调节温度和碳势。本文将分别就热电偶和氧探头以及 Lambda 探头（L-sonde）导 致测量结果不准确的原因作出分析和解释，同时就如何采用参比测量校正测量结果进行详细说明。另外， 参比测量中需要注意什么，参比测量提供什么信息，以及如何通过气体分析仪来对炉内气氛进行分析，都 将一一探讨。第一部分着重介绍如何将气体分析作为碳势参比测量的手段。 渗碳工艺控制中最重要的参数就是气氛的温度和碳势。为了得到精准的可重复的结果，这些参数必 须尽可能的精确。由于老化或者其它可能导致误差的原因，探头和传感器所给出的测量数据有可能不准确 甚至是错误的。因此，为了校正这些测量结果，必须采用参比测量。否则，控制所需的结果不能被认可接 受。温度通常可由热电偶测得。而对于碳势的控制，则可以采用现场氧探头和 Lambda 探头（L-sonde） 通过对炉内气氛的氧分压进行测量来完成。下文将介绍传感器测量误差的原因。 一， 使用热电偶进行温度测量时出现误差的原因。 使用热电偶进行温度测量是现有工艺中的常用做法。必须再次强调热电偶仅测量温度差异。一般可 以采用管夹温度作为参比。由于接头暴露于不断变化的环境温度中，管夹温度的变化也会导致测量误差。 避免这种误差有几个不同的方法。最常用的方法是记录结温（接合点温度）也称为接合点温度补偿，或者 使用接合点恒温器来保持接合点的温度为一个恒定值。 热电偶的温度一致性和长期稳定性与其材质时效有非常重要的关系。由于材质老化，热电偶的热电 特性会出现变化，因此热电电压 K 也会变化。这是指的热电偶漂移。热电偶的漂移主要取决于以下： 漂移取决于温度。越接近溶合点，金属中的原子扩散速度就越快。在这种情况下，外部原子 会很容易移入热电偶内。因此，两个温度感应臂是由相同的外部原子熔铸的，其热电性能增 加，热电电压降低。 漂移取决于所用热电偶线的直径。所分布原子的扩散长度与热电偶线直径之间的比率越小， 漂移越小。 漂移高度取决于现有气氛。强还原大气条件特别是强氧化气氛可以充分的稳定漂移。 除了热电偶老化以外，还有很多其它因素比如热力，机械力，大气以及电力影响到温度测量的准确 性。K 型热电偶常用于温度控制。在渗碳气氛中使用这种热电偶经常会导致如下错误。 铬减损以及绿霉：特别是在含CO和CO2 ，有相符水份率，温度介于 800-1000°C之间的还原性 气氛中，可以在镍铬处观察到铬的选择性氧化。随着铬萃取，热电电压K会不断降低，所显示 的温度值会低于实际温度。如果不及时更换热电偶的话，铬的不断损耗会最终导致破裂，通常 发生在镍铬线焊接点处。破裂处发出淡绿色的光，因此命名为绿霉。。 K 状态：是不同温度条件下合金里晶格单元的有序或者无序状态。如果镍铬镍热电偶高于 600°C ，镍铬面单一晶格单元会处于无序状态。在热电偶的慢慢冷却过程中，K 状态发生，意 味着晶格单元变为有序，热电电压会出现 3°C 的误差 二， 热电偶的定期检测： ISO9000 质量管理标准要求所有测量仪器包括内置温度传感器的系统都必须具有可追溯性。意味 着测量数值必须达到国家标准。标定的热电偶必须配备有效的校验证书方可实现追溯性。新的质量标准也 要求对热电偶进行定期检验。 在恒温池或者管式炉内都可进行温度传感器的检测。应用范围内至少要检测三个检查点。 实际操作中，热电偶的现场检验已经建立，即成为现场系统。过程可控热电偶具备一个测试通道穿 过连接座外部的孔。通过具有有效校验证书的铂铑铂绝缘的热电偶来完成处理工艺中的温度检测。要检测 的温度传感器未从测量线路中分离。因此可用于整个测量回路。如果测量差异不在公差范围内，标定测量 的漂移可以通过温度调节器补偿调节。在此情况下需要考虑到所有可能的误差，比如线性化，补偿线路， 测量结温，热电偶和控制器的漂移。 三， 碳势的确定