探针显微镜的进展.pdfVIP

扫描探针显微镜的进展 1 2 郭云昌 蔡颖谦 1 (岛津国际贸易（上海）有限公司市场部 上 海 200020） 2 (南方医科大学珠江医院神经医学研究所 广 州 510282) E-mail: sshgyc@shimadzu . 摘 要 扫描探针显微镜(SPMs)经过近30年的发展，已经应用到科学研究的各个方面。为适应不同研究的需要， 扫描探针显微镜本身的发展也非常迅速。如其中原子力显微镜 （AFM)从发明初期的单一的接触工作模式发展到包括 可以测量粘弹性的相位模式在内的多种工作模式，同时通用型方面也高度发展，已经形成了一个庞大的高度自动化的 扫描探针显微镜的家族。在这个家族中，严格环境控制的扫描探针显微镜的出现，很好的解决了各种条件下对样品的 原位观察，环控化扫描探针显微镜的发展已经引起了人们的足够重视，必将成为扫描探针显微镜发展的一个重要方向。 新近出现的各种显微镜集成的扫描探针显微镜系列是这个家族中的新成员，这个成员可以同时完成大范围、高分辨和 精确定位等各种研究，必将在半导体制造厂的异物检查、金属和绝缘体等表面测定以及生物大分子研究等领域发挥重 要作用。扫描探针显微镜的发明和发展促进了一门新兴的高科技——纳米科学技术的诞生，宣告一个科技新纪元，纳 米科技时代已经来临。 关键词 扫描探针显微镜;多模化;自动化;环控化;集成化 中图分类号 TH742 The Advance of Scanning Probe Microscope 1 2 Guo Yunchang , Cai Yingqian 1 ( Marketing Division , SHIMADZU International Trading (Shanghai) CO., Limited, Shanghai 200020, China) 2 ( N euromedical In stitute, Zhuj iang Hospital of Southern Medical University , Guangzhou 5 102 82, China) Abstract techNano Science and Technology. Key words 1 引 言 表面微小区域产生结构性缺陷、相变、化学反应、吸 附质移位等干扰,并诱导化学沉积和腐蚀，这正是利用 1986年Binnig与斯坦福大学的 Quate和IBM苏黎 SPM进行纳米加工的客观依据。同时也表明,SPM不是 士实验室的Christopher Gerber合作推出了原子力显微 简单用来成像的显微镜,而是可以用于在原子、分子尺 [1,2] [3-10] 镜(Atomic Force Microscopy,简称AFM),这是一种不 度进行加工和操作的工具 。这种全新的显微镜在 物理学、化学、生物、微电子学与材料科学等领域获 需要导电试样的扫描探针显微镜(scanning probe microscope,SP