旋转对称电子光学系统的五级几何像差分析.pdfVIP

电子学报990819 电子学报 ACTA ELECTRONICA SINICA 1999年　第27卷 第8期 Vo1.27 No.8 1999 旋转对称电子光学系统的五级几何像差分析* 木崇俊　陈尔纲　高　俊　李　川 　　【提要】　本文将旋转对称电子光学系统五级几何像差按边界条件分成球差、彗 差、亚像散和场曲、亚彗差、像散和场曲、畸变等六类，并分析各类像差在高斯像平 面上的图像. 　　关键词:旋转对称电子光学系统，五级几何像差，球差，亚像散和场曲，亚彗差 Analyses of Fifth-Order Aberrations of Rotationally Symmetric Electron Optical System Mu Chongjun,Chen Ergang,Gao Jun,Li Chuan (Department of Physics,Yunna